판매용 중고 NIKON NSR S204B #9254164

NIKON NSR S204B
ID: 9254164
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
KrF Scanner, 8" 248 nm 2001 vintage.
NIKON NSR S204B Wafer Stepper는 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 사진 정보입니다. 반도체 웨이퍼에 트랜지스터, 커패시터 및 기타 컴포넌트 생성 (예: 칩 레벨 응용 프로그램) 을 위해 설계되었습니다. NIKON NSR-S204B는 고해상도 처리량 시스템입니다. 4 인치 평면 시야와 0.17 미크론의 선폭 해상도를 유지할 수있는 디자인이 특징입니다. NSR S 204 B 의 핵심은 고효율 엑시머 레이저 레이저 (excimer laser) 로, 웨이퍼 표면에 매우 정확한 패턴을 만듭니다. 레이저의 스팟 크기는 0.3 미크론입니다. 이렇게 하면 매우 작고 복잡한 패턴 (pattern) 을 생성하여 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 로 이동합니다. 패턴을 미리 결정하거나 즉석에서 만들 수 있으므로 설계의 유연성을 극대화할 수 있습니다 (영문). "스테퍼 '는 고급 의 광학" 이미징' 기술 로 제작 되어 고도 의 정확도 로 "웨퍼 '표면 에" 패턴' 을 정확 하게 전달 할 수 있다. 이미징 장비는 chromascopic 및 간섭 패턴의 조합을 사용합니다. 이렇게 하면 가장 복잡 한 "디자인 '까지도 왜곡 되지 않고" 웨이퍼' 로 정확 하게 옮길 수 있다. 또한 이 시스템은 이미징 시야를 최적화할 수 있도록 설계되었습니다. 즉, 시간 (time) 과 노력 (work) 을 줄여 웨이퍼에서 패턴을 생성하는 것이 더 효율적입니다. NIKON NSR-S 204 B 는 또한 다양한 기능을 제공하므로 사용자가 편리하고 안정적으로 사용할 수 있습니다. 이러한 기능에는 직관적인 소프트웨어 인터페이스, 저소음 챔버, 자동 정렬 장치 등이 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 여러 개의 복잡한 이미지를 하나의 파일로 압축하고 전송을 시뮬레이션할 수 있습니다. 저소음 챔버 (Low Noise Chamber) 는 크로스 토크를 줄이는 데 도움이 되며, 정렬 기계는 잘못된 정렬 문제를 보완하는 데 도움이됩니다. 전반적으로, NSR-S 204 B는 반도체 웨이퍼에서 고해상도와 정확한 리소그래피를 수행하는 효과적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 강력한 옵틱과 사용자 친화적 (user friendly) 기능을 통해 초보자와 전문가 모두를 위한 다용도 도구입니다. 고급 광학 이미징 기능으로, NSR-S204B 는 높은 정확도와 속도로 반도체 웨이퍼 (wafer) 에 복잡한 패턴을 만드는 데 적합합니다.
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