판매용 중고 NIKON NSR S204B #9244030
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판매
ID: 9244030
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
KrF Scanner, 8"
Wavelength: 180 nm
Reticle size, 6"
Wafer type: Notch
Basic version: MCSV & BASE
Option version: OCSV
Includes:
LFU
Signal tower
Stage
Alignment
Reticle loader
Wafer loader
Main lens
Main computer:
DMCC HDD
FDD
DAT Driver
Unit status:
BMU
Laser type: GIGAPHOTON G20K2-1
Wafer stage: Air stage
Variable reticle microscope
Wafer alignment: LSA, FIA
Auto focus and leveling: Multi
PPD
Barcode leader
Reticle loader:
Type: Normal / 3LIB
Reticle size, 6"
Wafer loader:
Type 3
Notch type, 8"
Notch zone: 6 Time
In-line (Left)
Single cassette
Chamber status:
Chamber type: ASAHI N5Z-A
Atmospheric pressure: 755.7 mmHg
Chamber temperature:
Catc: 23°C
Batc: 23°C
Lltc: 23°C
LFU & Signal tower missing
2001 vintage.
NIKON NSR S204B는 패턴 전송 생산에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 강력한 광원 (light source) 과 고급 광학 (advanced optics) 은 나노미터 스케일 기능을 갖춘 고해상도 포토마스크 제작에 이상적인 도구입니다. NIKON NSR-S204B에는 최첨단 스캐너 옵틱과 최고의 조명 시스템이 장착되어 있습니다. NSR S 204 B의 광원은 최대 출력이 2.2kW 인 UV 방전 램프입니다. 이렇게 하면 스테퍼가 높은 처리량 (throughput) 과 낮은 왜곡 레벨 (distortion level) 을 얻을 수 있지만 여전히 우수한 선 너비 및 분리를 달성 할 수 있습니다. NIKON NSR-S 204 B (optics on NIKON NSR-S 204 B) 는 기능이 작은 패턴을 이미징 할 때에도 정확하게 정렬하고 초점을 맞출 수 있도록 특별히 설계되었습니다. NIKON NSR S 204 B에는 고속 압전 (piezoelectric) 모션 플랫폼이 장착되어 있어 최적의 노출 영역에서 웨이퍼를 정확하게 배치하여 최고의 패턴 전송 결과를 얻을 수 있습니다. 니콘 S204B (NIKON S204B) 는 또한 완전히 자동화된 마스크 전송 시스템을 갖추고 있으며, 이 시스템은 최대 8 인치까지 마스크 크기를 처리할 수 있으며, 보다 복잡한 프로세스에 대한 고급 프로그램을 제공합니다. 여기에는 자동 초점 (auto-focus) 및 자동 위치 지정 (auto-positioning) 과 같은 옵션이 포함되어 있으며, 이 옵션을 통해 운영자는 촬영 전에 완벽한 노출 영역을 빠르고 정확하게 찾을 수 있습니다. NIKON S204B 또한 내장된 비접촉 결함 감지 시스템 (non-contact defect detection system) 을 통해 운영자가 추가 생산 단계 전에 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있습니다. 패턴 전송 생산에서 높은 정확성과 신뢰성을 제공하는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 를 찾고 있다면 NSR-S 204 B 는 탁월한 선택입니다. 강력한, 오래 지속되는 UV 광원과 고급 광학 및 고속, 압전 동작 플랫폼을 결합하여 나노 미터 크기의 해상도 사진 마스크 제작을위한 훌륭한 도구입니다.
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