판매용 중고 NIKON NSR S204B #9243041

NIKON NSR S204B는 고급 반도체 제조 애플리케이션을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. NIKON NSR-S204B는 NIKON 독점 VaritecTM 장비를 사용하여 다중 패턴 모드 및 단일 노출 모드 모두에서 작동 할 수 있습니다. 낮은 NA (수치 조리개) 에서 높은 해상도를 제공 할 수있는 고급 광학 시스템 (Advanced Optics System) 을 통해 스테퍼는 높은 처리율로 높은 해상도 패턴을 만들 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼는 수동 및 자동 초점 기능을 모두 사용하여 빠르고 쉽게 정렬할 수 있도록 설계되었습니다. NSR S 204 B 는 광범위한 기능으로 설계되어 고급 리소그래피 (lithography) 애플리케이션을 위한 최적의 선택입니다. 예를 들어, 산화 관리 시스템은 고급 반도체 장치 (advanced semiconductor device) 의 생산에서 결함이 낮은 프로세스를 지원하기 위해 개발되었습니다. 웨이퍼 스테퍼에는 직관적인 드래그 앤 드롭 인터페이스를 사용하여 최적화 된 레시피를 빠르게 생성하는 NIKON 독점 "스마트 레시피 생성기 (Smart Recipe Generator)" 도 포함되어 있습니다. 초고진공 (UHV) 챔버 유닛도 웨이퍼 스테퍼에 포함되며, 이는 산화 및 오염으로 인한 결함을 방지합니다. NSR S204B 는 또한 다양한 액티브/패시브 동작 제어 시스템을 갖추고 있어 정확도와 처리량을 높여줍니다. 이중축 스테이지 제어는 높은 정밀도 패턴을 제공 할 수 있으며, 스캐닝 정확도는 10 nm 단계 크기를 사용할 때 10 nm 이하입니다. 또한 웨이퍼 스테퍼에는 고속 줌 (zoom) 모듈이 포함되어 있어 수동 재설정 없이 패턴 재작성을 할 수 있습니다. 또한, NIKON NSR-S 204 B는 고정밀 프로젝션 광학 머신과 정렬 마크를 모두 사용하여 고정밀 패턴 정렬을 달성 할 수 있습니다. 니콘 독점 ICF (Image Circle Fit) 를 사용할 때 오버레이 정확도는 여러 기판에서 성능을 극대화하여 수율 및 장치 신뢰성을 높입니다. 전반적으로 NSR-S 204 B는 고급 웨이퍼 스테퍼로, 고급 반도체 장치 생산과 같은 고정밀 패턴 응용 프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. 이를 통해 다중 패턴, 저전압 리소그래피, 초저임계 치수 반도체 프로세스와 같은 고급 석판 접근 방식에 이상적입니다. 높은 해상도와 높은 처리량을 우수한 프로세스 제어 및 관리 용이성과 결합하여 NIKON NSR S 204 B 는 고급 반도체 디바이스 생산에 이상적인 선택입니다.