판매용 중고 NIKON NSR S204B #9195220

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NIKON NSR S204B
판매
ID: 9195220
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
DUV Scanner, 8" Wafer type: SNNF Inline feed direction: Left Sendai S36 Chamber Lens type: 4EN2GK Chamber temperature: 23°C Reticle size: 6" x 6" Field size: 25 x 33 mm NIKON Standard reticle case (24) Reticle slots (2) Reticle libraries Wafer loader: Type 3 Notch 6C, 8" Low contact pin chuck KOMATSU / GIGAPHOTON G20K2-1 Laser Setup for 20 m altitude Focus check function: TTL-FC2 LSA, FIA Alignment chip leveling Multipoint focus / Leveling (45 Point) RET Shilink illuminator: 1/2, Annual, conventional, small sigma Bottom pellicle mount Reticle particle checker Reticle bar code reader Wafer carrier stage SECS Protocol 2000 vintage.
NIKON NSR S204B 웨이퍼 스테퍼는 NIKON의 가장 고급 스테퍼 기술 모델입니다. "실리콘 웨이퍼 '제조 에 사용 되는 고도로 자동화 되고 고급 장치 이다. NIKON NSR-S204B 는 다양한 고급 설계를 기반으로 하는 다이렉트 드라이브 (direct-drive) 장비로, 웨이퍼를 정확하고 반복적으로 포지셔닝할 수 있습니다. 더 크고 복잡한 구조나 장치를 만들기 위해 여러 웨이퍼에서 이러한 정확한 포지셔닝 (positioning) 을 수행할 수 있습니다. 매우 정밀하고 반복 가능한 스테퍼 (stepper) 이동을 통해 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 표면에서 이미지나 패턴을 정확하게 정렬하고 효율적으로 생성할 수 있습니다. NSR S 204 B 는 여러 가지 혁신적인 기술을 활용하여 수차를 줄이고 미러링을 방지하며, 전체 웨이퍼에 걸쳐 높은 수준의 정확성을 보장합니다. 전동식 포커스 스템 (focus stem) 과 유연한 디지털 이미지 안정화 시스템은 운영자 개입의 필요성을 제거하는 데 도움이됩니다. 이 스테퍼는 또한 NIKON 특허 다중 단계 분해 장치 (multi-step deintegration unit) 를 통합하여 여러 면에 동시에 패턴을 생성할 수 있습니다. NSR-S204B는 -30 (~) 에서 + 60 (~) 사이의 온도에서 작동하도록 설계되어 광범위한 환경 조건에서 이미지를 안정적으로 생성 할 수 있습니다. 정교한 레이저 기반 알고리즘은 0.2mm의 작은 wafer-to-alignment-arm 간격에서도 정확한 submicron 정확도를 가능하게합니다. 또한, 고급 이미징 머신은 모든 환경 조건에서 일관되고 반복 가능한 성능을 보장합니다. NIKON NSR S 204 B는 소프트웨어와 하드웨어와 호환되며, 이는 NIKON 다른 시스템 및 소프트웨어와 통합 될 수 있습니다. 이 고급 기능은 사용자가 LSIA 소프트웨어 내에서 스테퍼를 제어 할 수 있음을 의미합니다. 또한 옵션 보드 하드웨어를 제공하여 IBM 및 Mac 컴퓨터 시스템과 호환됩니다. 또한 NSR S204B 에는 wafer 가 잘못 정렬되지 않도록 안전 기능이 내장되어 있습니다. 또한, 스테퍼의 고급 설계를 통해 주요 구성 요소를 손쉽게 유지 관리하고 교체할 수 있습니다. 요약하자면, NSR-S 204 B Wafer Stepper 는 사용자가 Wafer 를 매우 정확하고 반복적으로 포지셔닝할 수 있는 고급 디바이스입니다. "실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) '의 여러 계층에서 높은 수준의 정확성을 보장하는 혁신적인 기술들이 특징입니다. 이 장치는 매우 다양하며 IBM 및 Mac 컴퓨터 시스템과 모두 호환됩니다. 또한 NIKON NSR-S 204 B 는 다양한 안전 (safety) 기능을 제공하므로 사용자가 이를 유지하고 주요 구성 요소를 쉽게 교체할 수 있습니다.
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