판매용 중고 NIKON NSR S204B #9195176
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판매
ID: 9195176
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
DUV Scanner, 8"
Handedness: Inline left or right
Altitude: Varies by site
Lens type: 4eN2
Chamber type: Standard
Chamber temperature set point: 22.2°C
Variable numerical aperture: 0.55-0.68
sPURE
Resolution enhancement technology (RET)
RET Apertures iNA= 0.51, 0.45, 0.41, 0.36, 0.27, and 1/3 annular
SHRINC Illuminator max σ; σ=0.85
Quick reticle change (QRC)
Reticle, 6"
Reticle loader
With reticle controller
Reticle barcode reader
Field image alignment system (FIA)
Laser step alignment system (LSA)
Phase contrast FIA
TTLFC2
Pre-alignment 2
Wafer stage: Air bearing / Linear motors
Type 3 ceramic wafer holder
Wafer loader
With type 3 wafer loader controller
Chip leveling included
Multipoint focus/level
Extended wafer carrier table
Pellicle particle detector (PPD3)
Online OCS
NIKON SECS II GEM Interface
CYMER ELS 6400 Series KrF excimer laser source
2001 vintage.
NIKON NSR S204B는 고해상도 집적 회로 칩을 생산하는 데 사용되는 고급형 다목적 사진 사진 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 직경이 최대 8 인치 인 웨이퍼를 이미징 할 수 있습니다. 초고속 정렬 정확도를 달성하기 위해 풀 필드 스캔이있는 매우 정밀한 도량형 시스템을 사용합니다. 이 기계는 매우 얇은 웨이퍼의 두께와 정렬 정확도를 측정하는 양면 (double-side) 정렬 시스템을 사용합니다. 이중축 웨이퍼 스테이지 (Dual-Axis Wafer Stage) 를 통해 웨이퍼의 양면을 스캔하고 이미지화할 수 있으므로 노출된 패턴이 정확하고 왜곡되지 않도록 할 수 있습니다. 또한 고성능 광학 필드 병합기를 통해 재현 가능한 이미지 품질을 제공합니다. 웨이퍼는 포토리스 스트 코팅 및 노출을 포함한 다양한 패턴 화 기술로 처리됩니다. 스테퍼의 조명 시스템은 고효율 제논 램프이며, 노출 범위는 1 초에서 1 분입니다. 스테퍼는 0.1 마이크로미터의 광학 해상도를 유지할 수 있으며, 이는 IC 칩에서 매우 정확하고 세밀한 이미지를 달성하는 데 중요합니다. 기계 의 자동 초점 탐지 및 습득 "시스템 '은" 웨이퍼' 를 극히 정확 하게 초점 을 맞추도록 한다. 이 기계는 또한 와퍼 크기 감지 (wafer size detection), 웨이퍼 (wafer) 및 레티클 교환 (reticles exchange) 과 같은 다양한 프로그래밍 및 웨이퍼 처리 옵션을 제공하며 안전하고 성공적인 작동을 보장합니다. 이 설계에는 포괄적인 소프트웨어/사용자 기능 제품군이 포함되어 있으며, 사용자는 시스템을 완벽하게 제어할 수 있으며, 정교한 동적 데이터/기능 (Dynamic Data and Function) 을 액세스할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR-S204B 는 저전력 소비량, 설치 시간이 매우 짧고, 부품에 대한 평생 보증과 같은 다양한 이점을 제공합니다. NIKON NSR S2004B는 반도체 제작에 최적의 용도로 설계되었으며, 사용자에게 포괄적이고 다양하며 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼를 제공합니다. 사용자 친화적 설계와 손쉬운 유지 보수 기능을 결합한 탁월한 기술 기능과 기능으로 NSR S2004B 는 다양한 칩 제작 및 프로그래밍 (Programming) 애플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.
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