판매용 중고 NIKON NSR S204B #293678915

NIKON NSR S204B는 반도체 산업에서 사용되는 정밀 석판화를 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 NIKON NSR 시리즈의 일부이며, 가장 안정적이고 고급 시스템 중 하나입니다. S204B는 손쉬운 작동을 위해 휴먼 머신 (human machine) 인터페이스를 사용하며 고성능 옵틱, 자동 제어, 동작 제어 시스템 어레이를 포함합니다. S204B의 목표 렌즈는 NIKON AIMEX VXR270으로, 대형 조리개 고해상도 수차 교정 대상 렌즈입니다. NA는 0.35이고 전체 필드 배율은 3입니다. 이를 통해 정밀 미크론/서브 미크론 리소그래피 해상도와 높은 처리량을 달성 할 수 있습니다. 렌즈는 또한 선형 모터 기반 드라이브 장비를 사용하여 부드럽고 진동이없는 작동을 수행합니다. 또한 S204B는 NIKON 독점 MMC-5000E 제어 플랫폼을 통해 시스템을 자동화하고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 제어 플랫폼은 노출 시간, 해상도, 프로세스 매개변수, 레티클 이동 및 정렬, 웨이퍼 스테이지 정확도 등 다양한 제어 기능을 지원합니다. 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 작업을 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 고급 옵틱 및 컨트롤 외에도 NIKON NSR-S204B 는 다양한 웨이퍼 처리 기능을 갖추고 있습니다. 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 운반하기위한 전기 자석 척 (electro-magnetic chuck) 과 웨이퍼 카세트를 자동으로 적재/언로드하기위한 카세트 로더 (cassette loader) 가 장착되어 있습니다. 이 다용도 장치에는 사전 처리 및 후처리 작업을위한 다양한 액세서리도 포함되어 있습니다. 여기에는 WRA (wafer distortion) 확인을 위한 자동 웨이퍼 매퍼, 매핑 및 등록을 위한 상향 동작 테이블, 레이저 정렬 제어를 위한 스테퍼 제어 테이블 등이 포함됩니다. 전반적으로 NSR S 204 B는 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼 머신으로 정밀 미크론/서브 미크론 리소그래피 해상도, 자동 웨이퍼 처리 및 직관적 인 인터페이스 기능을 제공합니다. 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics), 의료기기, 광전자 (opto-electronics) 등에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다.