판매용 중고 NIKON NSR S204B #293628991

NIKON NSR S204B는 결정 및 기타 재료로 차세대 고정밀 부품을 만들도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. NIKON NSR-S204B는 NIKON ASFS (Advanced Split Field Stereo Lithography) 기술을 통해 광석기 노출의 속도와 정확성을 향상시킵니다. NSR S 204 B에는 개선 된 빔 소스, 광학 경로, 프로젝션 광학 및 새로운 모터 드라이브가 포함됩니다. 이 조합은 오버레이 정확도가 우수하고 비균일성이 매우 낮은 매우 안정적인 노출 환경을 보장합니다. NSR S204B는 얇은 0.04 mm (1.6 마일) 크기의 슬라이스 크리스탈과 작동하도록 설계되었습니다. 이 장치는 OptiLand 스팟 크기가 58 äm 정도이며 반복 성은 3 äm입니다. NIKON ASFS 기술은 패턴 시각적 필드를 분리하여 전체 노출 분야에서 뛰어난 노출 균일성을 제공합니다. 노출 필드는 형태가 균일하여 기계적 안정성 (mechanical stability) 을 높이고 초점 길이가 일치하지 않아 왜곡을 제거합니다. NSR-S 204 B는 노출 속도와 반복 가능성이 향상되었습니다. 이 시스템에는 고급 원격 장비 모니터와 사용하기 쉬운 GUI (Graphical User Interface) 도 있습니다. NIKON NSR S 204 B에는 패턴 설정, 스테퍼 설정 및 측정을위한 도구가 포함되어 있습니다. NSR-S204B 와 함께 고객은 포괄적인 소프트웨어 툴을 제공합니다. 이 툴을 사용하면 하이엔드 애플리케이션과 로우엔드 애플리케이션에 효율적으로 노출될 수 있습니다. NIKON NSR-S 204 B는 정확한 닫힌 루프 정렬을 지원하는 고급 공중 이미지 평가 시스템을 갖추고 있습니다. 고급 이미지 변화 및 해상도 조정 기술은 뛰어난 이미지 품질을 보장합니다. NIKON NSR S204B에는 고속, 이중 축 정렬 및 비선형 패턴 구조의 정렬이 가능한 통합 Laser Goniometer/Reticule도 있습니다. NIKON NSR-S204B에는 고급 프로세스 제어 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 노출 설정 및 스테퍼 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 툴에는 스테퍼 (stepper) 운영 결과를 모니터링, 저장 및 분석하기 위한 실시간 데이터 표시 및 수집 자산도 포함되어 있습니다. NSR S 204 B 의 크기는 컴팩트하며 기존 제조 환경에 맞게 설계되었습니다. 이 기계는 UL 및 CE 인증을 받았으며, 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 기계 는 또한 여러 가지 화학물질 과 광전물질 (photoresist) 을 처리 하도록 설계 되어, 공정 사이 의 부가적 인 단계 를 제거 한다. 이러한 모든 기능을 통해이 기계는 대량 생산 응용 프로그램에 이상적입니다.