판매용 중고 NIKON NSR S204B #293606713

ID: 293606713
DUV Scanner Resolution: 0.18 NA: 0.68 Exposure wave length: KrF excimer Reduction: 1/4 Expose field: 25 x 33.
NIKON NSR S204B 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 포토 마스크 및 웨이퍼의 복잡한 리소그래픽 에칭 프로세스를 처리하도록 설계된 고급 장비입니다. 이 스테퍼 (stepper) 는 다양한 재료를 사용하여 다양한 크기와 모양의 고정밀 구조를 생성 할 수 있습니다. NIKON NSR-S204B 는 서로 다른 프로젝트를 위해 특별히 설계된 다양한 렌즈를 활용하여 고해상도를 달성할 수 있습니다. 이 장비는 다양한 선형 및 원 보정 기능과 함께 5 배에서 60 배 사이의 다양한 렌즈 범위를 제공합니다. "스테퍼 '는 또한 노출 중 에" 플레이트' 를 회전 시키고 잠그고, 가속도 를 보정 하여 "에치 '의 정확도 와 정밀도 를 더욱 높일 수 있다. 광학 및 모션 제어 시스템 외에도 NSR S 204 B에는 고성능 정렬 장치도 있습니다. 이 고급 정렬 장치 는 3 개 의 "레이저 '광선 을 이용 하여" 스테퍼' 가 정확 하게 조정 되도록 하여 "스테퍼 '가 최소한 의 잘못 된 정렬 으로" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있게 한다. 또한 NSR S204B 는 스트림 정렬 (stream alignment) 프로세스를 통해 웨이퍼 포지셔닝의 오차를 신속하게 파악, 발표 및 조정할 수 있습니다. NSR-S204B는 또한 고해상도 카메라를 사용하는 내장 결함 검사 도구를 제공합니다. 이 에셋은 표면의 모든 결함 (결함) 이나 웨이퍼 (웨이퍼) 의 깊이를 감지하고 식별할 수 있습니다. 이를 처리하거나 제거해야 합니다. "카메라 '는 또한 다양 한 두께 와 밀도 의" 웨이퍼' 를 "스테퍼 '로 주사 할 수 있도록 여러 가지 광도 로 조정 할 수 있다. 고급 옵틱 및 모션 제어 시스템 외에도 NIKON NSR-S 204 B 는 여러 가지 안전 및 환경 시스템을 제공하여 운영자에게 최적의 작업 조건을 보장합니다. 이 "스테퍼 '는 진공실 과 진공감지" 시스템' 을 이용 하여 "챔버 '의 기압 을 끊임없이 감시 하고 조정 하여 먼지 와 다른 입자 의 오염 을 방지 한다. 또한 다중 구역 공기 필터 (multi-zone air filter) 기술을 사용하여 챔버 내의 공기가 깨끗하고 꽃가루, 먼지 및 기타 입자가 없도록 합니다. 전반적으로 NIKON NSR S 204 B 웨이퍼 스테퍼는 모든 프로젝트에 대해 정확하고 정확한 구조를 생성 할 수있는 고급 장비입니다. 고급 옵틱, 모션 컨트롤 (Motion Control), 정렬 모델 (Alignment Model) 및 내장 결함 검사 시스템의 조합으로 생산자는 업계 요구 사항을 충족하는 고품질 제품을 생산할 수 있습니다. 안전 및 환경 시스템은 운영자가 최적의 안전한 환경에서 작동하도록 보장하며, NSR-S 204 B 는 wafer etching 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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