판매용 중고 NIKON NSR S204B #293598414

NIKON NSR S204B는 반도체 IC 제조에 이상적인 고정밀, 스텝 및 반복 노출 장비입니다. MEMS, TSV, 3D IC 및 고급 리소그래피 프로세스를 포함한 다양한 IC 패키징 프로세스에 적합한 선택 사항입니다. S204B 는 고급 광 시스템 (Advanced Optical System) 을 통해 높은 처리량과 다양한 웨이퍼 크기를 수용할 수 있는 시야 (Field of View) 를 제공합니다. 4 개의 노출 스테이션이있는 4면 탁상 디자인을 기반으로하며, 한 번에 최대 4 개의 4 인치 웨이퍼를 수용할 수 있습니다. 스테퍼의 업계 최고의 해상도는 4.0um, 최대 필드 크기는 33mm x 33mm입니다. 레티클 스테이지는 최대 100mm 레티클 마스크를 수용 할 수있는 유연한 레티클 (reticle) 크기를 지원합니다. 또한 다양한 호환 마스크 및 렌즈를 사용하여 DUV (Deep Ultraviolet) 및 몰입 리소그래피를 지원할 수 있습니다. 이 기계는 최대 150W의 전력을 갖춘 안정적이고 고속 서보 모터 (servomotor) 장치를 갖추고 있습니다. 그것은 높은 정밀 정렬 기계를 가지고 있으며, 반복성은 0.25um, 정확도는 0.4um입니다. 최대 스캔 속도는 X/Y 방향으로 15.2 스캔/초이며, 축 가속도는 최대 15.25 G입니다. 이 기계는 또한 더 긴 노출 시간을 위해 뛰어난 안정성과 안정성을 제공합니다. 기계가 냉정하게 유지되고 노출 영역의 안정성을 최적화하기 위해 온보드 칠러 (chiller) 가 있습니다. 냉각기는 또한 열 팽창의 영향을 줄이는 데 도움이되며, S204B는 최대 섭씨 40 도의 온도를 견딜 수 있습니다. S204B에는 다양한 기능이 장착되어 있어 높은 생산성을 보장합니다. 자동 웨이퍼 로딩 및 언로드 시스템은 수동 인건비를 줄이고 처리량을 증가시킵니다. 또한 빠른 내부 초점 조정 도구 (fast internal focus adjustment tool) 를 사용하여 레티클의 초점을 몇 초 안에 미세 조정할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 원격 진단 (remote diagnostics) 및 사용자 정의 가능한 사용자 인터페이스를 제공하여 기술자가 필요 없이 컴퓨터를 실시간으로 유지 관리 및 모니터링할 수 있습니다. 결론적으로 NIKON NSR-S204B 는 강력하고 신뢰할 수 있는 스테퍼로서 높은 처리량, 정확성, 유연성을 제공합니다. 이 기계는 광범위한 반도체 IC 제조 공정에 사용될 수 있으며, 뛰어난 속도와 정확성으로 인해 고급 석판화 공정에 이상적입니다.