판매용 중고 NIKON NSR S204B #293594683
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NIKON NSR S204B는 고급 초소형 장치 및 마이크로 일렉트로닉스 요구 사항을 충족하도록 설계된 몰입 스캐너 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 정렬 장비와 대형 기판 처리 기능, 최대 200mm (7.87 인치) 의 정확한 이동, 고해상도 및 균일 한 초점 (focus) 을 제공합니다. NIKON NSR-S204B는 기판 크기가 최대 200mm, 소형 크기, 스테이지가있는 엔드 스테이션으로 4 개의 웨이퍼/레티클을 동시에 이동할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 처리를 위해 개선 된 스테이지 디자인이 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 디자인은 작은 필드 스티그매틱 이미징 광학 장치 (stigmatic imaging optic) 를 갖춘 단일 소스 시스템과의 더 세밀한 정렬 정확도를위한 것입니다. 광학 확대/축소 장치에는 0.60x에서 0.80x까지의 다양한 조회수가 있습니다. 또한 작업 거리, 진동이없는 스캔 기계, 정확한 제어를 위한 웨이퍼 처리 도구 (wafer handling tool) 가 있습니다. NSR S 204 B 자산은 LIP (laser interference pattern) 투영 조명과 자동 레티클 정렬 모델을 갖춘 통합 스티그매틱 이미징 옵틱 렌즈를 사용합니다. 작업 거리가 길고 미세 선 (fine line) 패턴을 처리 할 수있는 고해상도 이미징 (high resolution imaging) 이 가능합니다. 장비는 높이가 최대 300mm (11.8 인치) 이고 전체 길이가 최대 2000mm (78.7 인치) 인 여러 샷 필드를 스캔 할 수 있습니다. NIKON NSR-S 204 B는 섭씨 25도 (화씨 77) 까지 저온 노출을 제공하며, 고급 저항 난방 제어로 균일 한 저항 두께를 달성 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 매우 안정적이며 높은 수익률 (95%) 과 낮은 다운타임을 제공합니다. 또한 최대 4000 (8 ") 웨이퍼/시간의 처리량으로 처리량이 높습니다. 또한 미세 선 (Fine Line) 패턴을 처리할 수 있는 고해상도, 높은 정확도, 높은 반복성으로 높은 생산성을 제공합니다. 전반적으로 NSR-S204B 웨이퍼 스테퍼는 신뢰성이 높고 처리량이 높으며 정확도가 높습니다. 고급 초소형 장치 제작 및 마이크로 일렉트로닉스 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다. 고해상도, 대형 기판 크기, 소형 필드 스티그매틱 이미징 옵틱 (NSR S204B) 은 뛰어난 이미징 결과와 탁월한 반복성을 제공합니다.
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