판매용 중고 NIKON NSR S204 #9364431
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니콘 NSR S204 웨이퍼 스테퍼 (NIKON NSR S204 wafer stepper) 는 반도체 제품 제작에 사용되는 정교한 기계로 마이크로 리토 그래피 분야의 스테이플 기기가되었습니다. NSR S204 는 높은 처리량, 정확한 이미징 성능, 그리고 오늘날의 제조 요구 사항에 필요한 반복 가능한 정확성을 제공합니다. 니콘 NSR S204 (NIKON NSR S204) 는 다양한 오브젝트에 대해 매우 정밀한 이미징 패턴을 제공할 수 있는 정교한 기울기 조정 메커니즘을 갖춘 광학 센터 (Continuous Optical Center) 를 갖추고 있습니다. 이 기능을 사용하면 원하는 대로 패턴의 정밀도를 빠르고 쉽게 세밀하게 조정할 수 있습니다. NSR S204 에는 2 개의 고성능 자동 정렬 센서가 장착되어 있는데, 이 센서는 나노미터 스케일까지 각 패턴 피쳐의 정확한 위치를 정확하게 감지하는 데 사용됩니다. 또한 "센서 '를 통해 정렬 과정 의 정확도 와 속도 를 알 수 있으므로, 매우 짧은 시간 내 에 노출" 필드' 를 정렬 할 수 있다. NIKON NSR S204에는 두 개의 Zernike 다항식으로 구성된 내장 회절 영역 플레이트 (diffraction zone-plate) 광학 장비가 장착되어 있어 사용자가 단일 스캔에서 넓은 동적 범위를 얻을 수 있습니다. 또한 이 시스템을 통해 사용자는 짧은 시간 내에 반복 노출 (repeatable exposure) 결과를 얻을 수 있습니다. NSR S204는 0.1 마이크로미터 해상도의 4 축 제어 모터로 구성된 매우 정밀한 이동 장치를 사용합니다. 이 시스템을 사용하면 동적/조정 가능한 점프 (점프) 단계로 필드를 빠르고 정확하게 노출할 수 있습니다. NIKON NSR S204 는 설계를 통해 노출 구성 요소를 공구 없이 변경할 수 있으므로 사용 편이성을 제공합니다. 이 기능은 반복 가능한 광학 레이아웃과 배치를 보장하여 프로세스 성능을 향상시키고 마스크 비용을 절감합니다. 우수한 성능 외에도 NSR S204 는 전력 소비량이 적고, 작동이 조용하여 고객의 환경 요구 사항을 충족합니다. NIKON NSR S204 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 뛰어난 정밀도와 정확도를 제공하여 고품질 제품을 효율적으로 생산할 수 있습니다. 유연한 공구 설계를 통해 반복 가능한 고정밀 이미징 (high-precision imaging) 이 필요한 다양한 작업에 적합합니다.
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