판매용 중고 NIKON NSR S204 #9247366

NIKON NSR S204
ID: 9247366
빈티지: 2001
Stepper 2001 vintage.
NIKON NSR S204는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 강력하고 정밀한 고해상도 5X 프로젝션 렌즈와 함께 대형 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 사용하여 노출 된 패턴을 반도체 웨이퍼에 정확하게 배치합니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 66 x 66mm (66 x 66mm) 의 인상적인 필드 크기와 최소 기능 크기 (0.042zm) 를 가지고 있어 가장 까다로운 반도체 제조 요구 사항을 충족 할 수 있습니다. NSR S204 는 완전 자동화된 시스템으로, 생산성을 높이고 다운타임을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 시야각 선택, 패턴 데이터 최적화, 노출 스캔, 모니터링 및 MEMS (Micro- electromechanical Unit) 셔터 보정을 포함한 완전한 프로세스에 혁신적인 소프트웨어 솔루션을 사용합니다. 또한 Wafer Aligner, Image Data Analysis Machine, 기타 주변 장치 등 다양한 장치와 연결할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 2 샷 노출 모드를 사용하여 웨이퍼에 매우 정확하고 정확한 패턴 사진을 만들 수 있습니다. 이 기술은 가장 복잡한 패턴 (pattern) 도 정확하고 최대 디테일로 재현할 수 있도록 합니다. 또한, NIKON NSR S204는 독점적, 특허받은 오류 수정 알고리즘을 사용하여 단계 부정확성, 환경 왜곡 및 기타 오류 원인의 영향을 최소화합니다. 이 도구는 SPD (Scan Position Detector) 및 APD (Align Position Detector) 를 포함하여 스테이지 및 웨이퍼 이동을 정렬하는 등 다양한 센서와 카메라로 구동됩니다. 또한, NSR S204에는 최적의 조명을 위해 고급 자산의 광원과 램프가 장착되어 있습니다. 또한, 이 모델은 입자 오염과 노출 노출 노이즈를 줄이는 데 도움이되는 특별한 멀티 레이어 필터레이션 (multi-layer filtration) 으로 설계되었습니다. 사용자 안전성과 편리성을 극대화하기 위해 NIKON NSR S204에는 강력한 안전 기능 (예: 무대 이동, 키 작동 작업 등) 이 장착되어 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스를 갖추고 있으며, 원격 작업을 지원하여 확장성 및 액세스 용이성을 향상시킵니다. 이 장비는 내구성이 극대화되도록 설계되었으며, 환경 조건이 가혹할 수 있습니다. 결론적으로 NSR S204는 고정밀 웨이퍼 스테퍼 시스템을 위한 탁월한 선택입니다.
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