판매용 중고 NIKON NSR S204 #9243689

NIKON NSR S204는 반도체 제작을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. NIKON 전용 AMS (Array Micro-Scanning) 기술을 활용하여 정확하고 높은 처리량 웨이퍼 스캐닝을 제공합니다. NSR S204 는 고해상도, 고속 운영, 종합적인 Automata 모니터링 및 제어 장비로, 고급 반도체 구성 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. NIKON NSR S204는 포토 마스크 (photomask) 의 최소 라인 너비를 축소하고 매우 정확한 웨이퍼 패턴을 만들 수 있습니다. 즉, 통합 소프트웨어를 사용하여 쓰기 작업을 제어, 조정, 모니터링할 수 있습니다. 스테퍼는 견고하고 다중 축 마이크로 포지셔닝 시스템 (micropositioning system) 을 갖추고 있으며, 이 시스템은 인코더에 의해 안정화되어 정확성과 빠른 스캐닝을 보장합니다. 산업 등급 프레임 내에 포함 된 NSR S204는 견고한 공장 환경을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. NIKON NSR S204는 칩을 사용하지 않고 단일 웨이퍼 당 최대 2,400 만 픽셀의 배열을 만들어 고해상도 이미지를 생성합니다. 컨트롤러 보드의 다중 구간 (multi-cascaded) 전압 회로는 선형 (linear) 및 비선형 (non-linear) 전압을 실시간으로 변경하고, 자동 초점 장치는 웨이퍼 표면이 완벽하게 정렬되도록 합니다. NSR S204의 노출 머신은 원하는 웨이퍼 패턴을 기반으로 여러 색상 광원을 방출하는 레이저 다이오드 어레이 (laser diode array) 를 특징으로합니다. "컴퓨터 '" 프로그램' 을 통하여, 노출 "컨트롤러 '는 각" 레이저' 색 에 대한 특정 한 값 을 설정 한다. 이렇게 하면 다른 노출 시간에 정확한 접촉 패턴이 만들어져 다중 레이어 이미징 (multiple-layer imaging) 및 패턴화 (patterning) 가 가능합니다. 고정밀 optics 외에도 NIKON NSR S204에는 지능형 웨이퍼 처리 도구인 스마트라인 (Smartline) 이 장착되어 있습니다. 스마트라인 (Smartline) 은 강력한 알고리즘을 사용하여 플래튼 (platen) 의 각 마스크 웨이퍼를 식별하고 처리 중에 각 웨이퍼를 지능적으로 재배치합니다. 따라서 "웨이퍼 '는 진동 때문 에 오차 나 갑작스런 움직임 에 관계 없이 일관성 있게 노출 된다. 또한 잘못된 인식 오류를 줄이는 데 도움이됩니다. 요컨대, NSR S204 는 고도의 처리량, 통합된 프로세스 제어, 효율적인 웨이퍼 처리 자산을 제공하는 첨단 고밀도 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 칩 메이커와 정확한 이미징이 필요한 다른 연구 응용 프로그램을위한 완벽한 선택입니다.