판매용 중고 NIKON NSR S204 #9225054

NIKON NSR S204
ID: 9225054
KrF Scanner.
NIKON NSR S204 Wafer Stepper는 실리콘 웨이퍼 다이빙 작업의 정확성과 기능에 혁명을 일으킨 일종 기계입니다. 이 기계는 정밀 옵틱, 정밀 모터 패키지, 미세 튜닝 소프트웨어 도구를 결합한 고해상도, 고속 이미징 시스템입니다. 따라서, 놀라운 정확도로 매우 훌륭한 특징 크기 (최대 50 미크론) 를 생성 할 수 있습니다. NSR S204 Wafer Stepper는 스캐닝 단계라고 하는 고유한 광 요소를 사용합니다. 이 단계는 전체 조회수 (full viewing field) 에서 각 실리콘 웨이퍼의 위치를 정확히 지정하고 방향을 정하는 역할을 합니다. 그런 다음 래스터는 X, Y 및 Z 축의 각 웨이퍼를 스캔하여 원하는 에칭 또는 드릴링 패턴을 만듭니다. 정교한 이미지 처리 시스템은 데이터 포인트 (data point) 및 피쳐 (feature) 크기의 적절한 등록을 위해 이미지 데이터를 디지털화하고 조정합니다. 광원은 또한 정밀 이미징에 필요한 백라이트를 제공하는 데 사용됩니다. 정확성을 보장하기 위해 NIKON NSR S204는 두 가지 유형의 웨이퍼 처리 시스템 (고정 단계 및 이동 가능한 단계) 을 사용합니다. 스캐닝 스테이지 (scanning stage) 에 부착된 고정 스테이지 (fixed stage) 는 이미지의 스캐닝이 진행됨에 따라 웨이퍼가 고정되도록 유지함으로써 정확성을 유지하도록 설계되었습니다. 한편, 이동 가능한 스테이지 (movable stage) 는 동력 작동기에 부착되어 이미징 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼를 이동 및 배치 할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 전체에서 피쳐 크기와 점 패턴이 일관되게 유지됩니다. NSR S204 Wafer Stepper의 이미징 및 다이빙 작업은 패턴 회전 및 정렬 수정, 비선형 이미지 보상, 이미지 오버레이 (image overlay) 기능과 같은 강력한 소프트웨어 패키지로 구동됩니다. 이렇게 하면 필요에 따라 매개변수와 공차를 조정하여 작동 속도 (Operation Speed) 와 정밀도를 최대 수준으로 유지할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 복잡한 패턴이나 채널을 만드는 데 사용될 수있는 고급 도구 (예: 3D 레이저 절삭) 를 제공합니다. NIKON NSR S204 Wafer Stepper는 실리콘 웨이퍼 응용 프로그램에 적합한 고급 프로덕션 및 프로토타입입니다. 정확성과 속도가 우수하여 정밀 웨이퍼 다이킹 (Wafer Dicing) 및 관련 어플리케이션을 위해 선택할 수있는 기계입니다. 사용이 간편한 소프트웨어, 고급 이미지 프로세싱, 다양한 웨이퍼 처리 옵션을 갖춘 NSR S204 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 최신 반도체 업계의 요구 사항을 충족하는 강력하고 안정적인 솔루션입니다.
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