판매용 중고 NIKON NSR S204 #9204029
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![NIKON NSR S204 사진 사용됨 NIKON NSR S204 판매용](https://cdn.caeonline.com/images/nikon_nsr-s204_947076.jpg)
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판매
ID: 9204029
웨이퍼 크기: 8"
Scanner, 8"
Main body
Wafer / Reticle loader
Control rack
Temperature controller
Environmental unit
Laser BMU 1 & 2
Laser wave guide
Chamber air duet
Wafer load / unload aim assembly
Chamber mid panel
Chamber base plates
Cable panel
Guide rails
Chamber panels:
Left side
Right side
Top side
CYMER Laser not included.
NIKON NSR S204는 까다로운 애플리케이션을 위해 설계된 고급 기능과 구성 요소를 갖춘 최고 수준의 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 풀 필드 웨이퍼 스테퍼 (full-field wafer stepper) 는 고급 반도체 공정에 사용되는 대용량 리소그래피 (lithography) 와 다양한 패턴 크기와 모양을 가진 웨이퍼 제조 공정에 이상적입니다. NSR S204 는 다양한 최첨단 구성요소를 갖추고 있어 탁월한 성능과 정확성을 제공합니다. 빠르고 정확한 PAS 스캐닝을 위한 고성능, 고해상도 스캐너 헤드 (scanner head), 각 웨이퍼의 다이 항복 (die yield) 향상을 위한 고도로 생산적인 정렬 장비가 장착되어 있습니다. 또한 렌즈 성능을 향상시키고 노출 균일성을 개선하도록 설계된 최첨단 조명 광학 (optic) 을 갖추고 있습니다. NIKON NSR S204는 생산성 향상을 위해 설계된 여러 가지 기능도 제공합니다. 완전 자동화 로봇 인터페이스 (Full Automated Robot Interface) 는 배치 (Batch) 를 빠르고 쉽게 로드하고 웨이퍼 기판을 언로드할 수 있으며, 마스크 및 웨이퍼를 정확하고 정확하게 정렬할 수 있는 강력한 멀티 축 스테이지 시스템입니다. 또한 고해상도 음극선 (cathode ray tube) 디스플레이를 통해 사용자가 전체 장치의 성능과 해상도를 모니터링할 수 있습니다. NSR S204 (NSR S204) 는 도전적인 반도체 프로세스의 요구를 충족하도록 설계되었으며, 열 및 환경 스트레스를 견딜 수있는 내구성 있는 구조로 제작되었습니다. 냉각기 (Cooling Machine) 를 장착하여 사용 중에 발생하는 열을 발산하며, 공기 및 가스 흐름을위한 2 개의 내장 경로로 설계되었습니다. 또한 NIKON NSR S204 는 다양한 고급 소프트웨어 패키지를 제공하므로 운영자가 스테퍼 툴을 빠르고 쉽게 모니터링, 조정, 제어할 수 있습니다. 또한 NIKON 자동 초점 제어 (automatic focus control) 소프트웨어가 포함되어 있어 사용자가 콘솔에서 초점 설정을 조정할 수 있습니다. 또한 사용자가 기판 이동, 노출 및 수정 패턴을 모니터링할 수 있습니다. NSR S204 (NSR S204) 는 고급적이고 안정적인 웨이퍼 스테퍼 자산을 찾는 모든 wafer fabrication 시설에 대한 최고의 선택입니다. 고성능 구성 요소, 고급 기능, 효과적인 소프트웨어 패키지를 갖춘 NIKON NSR S204 는 lithography 의 우수성을 극대화하는 완벽한 툴입니다.
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