판매용 중고 NIKON NSR S204 #9070950
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NIKON NSR S204는 반도체 생산 프로세스에 널리 사용되는 고성능 스테퍼입니다. 고도로 복잡한 집적 회로의 제작에 필요한 정확성과 속도를 제공하는 고급 석판화 (Advanced Lithography) 장비를 갖추고 있다. 스테퍼는 최대 0.2 미크론의 해상도로 매우 정확한 웨이퍼 패턴을 제공합니다. 한 단계 (step) 와 반복 (repeat) 시스템을 갖추고 있으며 단일 패스 노출에도 적합합니다. NSR S204에는 초고해상도 프로젝션 렌즈 (Ultra-High Resolution Projection Lens), 고급 색수차 보상 장치 (Advanced Chromatic Aberration Compensator) 등 다양한 고정밀 옵틱이 장착되어 있습니다. 또한 고성능 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 와 초정밀 리소그래피 (lithography) 를위한 고급 자동 정렬 장치가 장착되어 있습니다. NIKON NSR S204는 통합 로봇 처리 메커니즘 덕분에 최대 4 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. 기존 운영 제품군과 원활하게 통합할 수 있도록 설계되었으며, 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적인 리소그래피 (lithography) 솔루션을 제공합니다. NSR S204 는 노출을 정확하고 안정적으로 제어할 수 있는 고급 모션 컨트롤 (motion control) 기술로 개발되었으며, 노출 제어는 최대 5 미크론의 안정적인 노출 용량 수준을 제공합니다. 스테퍼는 쉽게 사용하고 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 손쉽게 작동할 수 있도록 대용량 디스플레이 및 컨트롤 패널이 제공됩니다. 고급 자동 로딩, 프로그래밍 가능한 인터페이스, 내장 자동 초점 기능으로 작동 및 유지 관리가 간단합니다. NIKON NSR S204는 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 생산 프로세스에 사용할 수 있습니다. 통합 로봇 처리 기계, 고급 광학 장치, 정밀 노출 제어 (precision exposure control) 는 효율적이고 비용 효율적이며 신뢰할 수있는 리소그래피 솔루션을 제공합니다.
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