판매용 중고 NIKON NSR S203B #9357170

NIKON NSR S203B는 고급 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 장치 제조에 사용되는 침수 유형 도구입니다. 이 장비는 최적화 된 광학 시스템을 갖추고 있으며, 해상도는 0.13äm, 스텝 크기는 0.07äm, 초점 깊이는 1.7äm입니다. 이 장치는 서브 미크론 리소그래피 해상도를 생성 할 수있는 고도로 통합 된 고급 마스크 정렬기입니다. 이 기계에는 고속 6kW 레이저 자동 초점 머신과 6 축 자동 레벨링 제어가 장착되어 이미지 균일성과 정확성이 향상되었습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '가 노출 단계 에 정확 하게 배치 되고, 노출 의 최적 의 초점 이 달성 되는 데 도움 이 된다. 또한 노출 후 굴절률 (refraction index) 이 바뀌지 않도록 액체 냉각 재킷 (liquid cooling jacket) 이 장착 된 고급 냉각 도구를 제공합니다. 이 자산 에 의하여 달성 되는 정확성 은 가능 한 "리소그래피 '의 최고 의 질 을 보장 하는 데 필수적 이다. NIKON NSR-S203B 는 사용자에게 완전 자동 (Fully Automated) 노출 작동, 고정밀 (High-Precision) 노출 모델 및 1% 를 초과하는 노출 정확도 수준 등 다양한 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 노출 장비는 높은 처리 속도 (throughput) 와 낮은 노출 시간 (exposure time) 을 갖춘 저항층 보상 시스템 (resist layer compensation system) 을 통합하여 노출의 속도와 정확도를 최적화합니다. 제어 장치 (Control Unit) 는 웨이퍼와 노출 장치 간의 완벽한 동기화를 보장하며, 노출 매개변수를 조정하는 기능을 제공합니다. 이 기계는 또한 열적 변동에 노출되지 않도록 구성 요소를 보호하기 위해 고효율의 온도 조절 환경 챔버 (environment-controlled environment chamber) 를 갖추고 있습니다. 이는 장치의 열 안정성을 크게 높이고, 또한 잠재적 인 이미지 오류를 줄입니다. 게다가, 이 도구는 활성 진동 제어 (Active Vibration Control) 자산을 제공하여 노출 시간을 줄여 최고 품질의 이미징을 보장합니다. NSR S203B 는 또한 작은 기능 크기, 고해상도 마스크, 복잡한 노출 등을 위해 개발된 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 을 사용하여 뛰어난 이미징 결과를 제공합니다. 고해상도 카메라와 첨단 이미지 처리 (advanced image processing) 알고리즘을 활용해 노출을 더욱 강화했다. 카메라는 웨이퍼에서 먼지나 흠을 감지하고 자동으로 조정할 수 있습니다. 이 모델에는 장비 프로그래밍을 위한 정교한 사용자 인터페이스 (user interface) 가 포함되어 있으므로 사용자가 노출 매개변수와 매개변수를 빠르게 설정할 수 있습니다. 전반적으로 NSR-S203B 웨이퍼 스테퍼는 고정밀도, 고속, 고속, 고해상도 노출 프로세스를 제공할 수 있는 고급 리소그래피 플랫폼을 제공합니다. 이 제품은 장치 제조업체를 위한 올인원 (All-In-One) 솔루션으로, 최고의 이미징 성능과 정확도를 제공합니다.