판매용 중고 NIKON NSR S203 #9229310
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ID: 9229310
웨이퍼 크기: 8"
Scanner, 8"
With CYMER ELS-5405
Wafer type: Notch
Does not included lens data.
NIKON NSR S203은 일본 카메라 제조업체 인 NIKON이 개발 한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 대용량 반도체 제작 애플리케이션에 사용되며, 대용량/중형 디바이스의 패턴 정렬을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 고해상도, 고배율 광학 장비, 고급 패턴 인식 기술, 최첨단 정렬 프로세서 (최대한의 수율과 효율성) 를 포함한 독보적인 기능을 결합한 제품입니다. NSR S203 웨이퍼 스테퍼는 장거리 및 개선 된 자동 웨이퍼 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 독특한 스테이지 유닛이 특징이며, 안정적이고, 고속 스캔과 정확한 웨이퍼 클램핑이 가능합니다. 이 장치는 빠르고 정확한 wafer-to-wafer 정렬을 지원하므로, 중단되지 않은 프로세스를 수행할 수 있습니다. 스테퍼에는 통합 XY 스테이지가 장착되어 있으며, 단일 샷에서 최대 3 개의 웨이퍼를 구동 할 수 있습니다. 이 장치는 고성능, 고정밀 옵틱을 사용합니다. 매우 정확한 정렬을 가능하게 하는 미세한 해상도 수준을 제공합니다. NIKON NSR S203 웨이퍼 스테퍼는 또한 정교한 이미징 프로세스와 프로세스 내 패턴 정렬을 지원합니다. 이미징 머신은 넓은 픽셀 피치와 최대 25 라인/mm의 고해상도를 가진 풀 컬러 CCD 카메라입니다. 심지어 작은 표면 불완전성도 감지 할 수 있습니다. NSR S203 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 추가 프로세싱 없이 여러 패턴 인식 작업을 처리할 수 있는 대용량 고속 이미지 처리 플랫폼을 갖추고 있습니다. 선폭, 임계 치수, 패턴 배치, 모서리 해상도, 선 너비 등 다양한 매개변수를 빠르게 측정할 수 있습니다. 고급 패턴 인식 알고리즘 (advanced pattern recognition algorithm) 은 감지된 매 분마다 패턴을 올바르게 식별하고 정확하게 처리합니다. NIKON NSR S203 웨이퍼 스테퍼는 높은 안전 표준으로도 설계되었습니다. 모든 기계 부품 은 대부분 의 산업 환경 에서 작동 할 수 있는 질 좋은 재료 (quality material) 로 되어 있다. 또한 간편한 제어판은 최대한의 안전 기능으로 설계되었습니다. 전반적으로 NSR S203 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 여러 반도체 제조 프로세스에 이상적인 고급적이고 효율적인 장치입니다. 업계 최고의 웨이퍼 스텝퍼 (Wafer Stepper) 중 하나입니다.
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