판매용 중고 NIKON NSR i9 #293586905
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판매
ID: 293586905
Stepper
Resolution: 0.5 µm
DOF: 0.7 µm
Expose area: 20 mm
Lens distortion: ±0.10 µm
Exposure power: 500 mW/cm²
Illumination uniformity: <2.0 %
Integrated exp controller: ±2 %
Wafer holder flatness: 2.5 µm
Chip levelling: ±1.5 sec
Auto focus stability range: 0.40 µm (3) times
Stepping accuracy: 0.07 µm
Wafer holder, 8"
Reticle, 6"
Reticle blind: 0.4 - 0.8 mm
Reticle rotation:
Absolute value: ±0.02 µm
Target repeatability value: 0.02 µm.
NIKON NSR i9는 직경 반도체 기판의 표면을 최소한의 결함으로 정확하고 반복적으로 패턴 화 할 수있는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 컴팩트하지만 성능이 뛰어난 패키지로 처리량, 해상도, 비용의 균형을 선명하게 조정합니다. NSR i9는 레이저 간섭계 및 항법 장비에 4 렌즈 프로젝션 광학 (optic) 을 사용하여 직경이 최대 8 인치 인 기질에서 32 나노 미터까지 작은 결함을 가능하게합니다. 이것은 시스템의 이전 모델보다 두 가지 개선 된 것입니다. 간섭계 (interferometer) 는 웨이퍼 배치에서 나노 미터 (nanometer) 수준의 정밀도를 허용하며, 탐색 단위는 웨이퍼가 일반적으로 제한된 정렬 정밀도를 wafer 수 있도록 합니다. 니콘 NSR i9 프레임 세트 (NIKON NSR i9 frameset) 에는 현미경의 해상도를 동시에 개선하는 축소 렌즈 (demagnification lenses) 와 시야를 확대하는 줌 렌즈 (zoom lens) 가 포함되어 있습니다. NSR i9의 다른 기능으로는 강화 된 레이저 머신 (Enhanced laser machine) 이 있으며, 모든 프로세스 파장에서 전체 스펙트럼의 빛을 방출할 수 있으며, 각각 1.2 um ~ 0.1 um의 초저, 정적 및 동적 스탠드 오프 간격이 있습니다. 디스크 및 플랫 기판. NIKON NSR i9는 또한 건조 (dry) 및 침수 (immersion) 챔버 레시피를 모두 수용하는 완전 통합 챔버와 같은 최첨단 기능을 제공합니다. 경량 디자인으로 광학 구성 요소의 통합 캡슐화, 다단계 시야를 가진 디지털 현미경으로, 잠재적인 결함을 파악합니다. 기판 처리 시간을 최소화하고 매핑 품질을 향상시키는 자동화된 도구와 설정, 섬세하고 귀중한 기질의 안전을 동시에 보존하면서 NSR i9가 하위 nm 정확도로 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 패턴 화하도록 허용합니다.
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