판매용 중고 NIKON NSR i7 #9226166

NIKON NSR i7은 photolithography 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 석판화 장비입니다. 고급 피쳐와 오버레이 정확도로 매우 정확한 패턴을 생성 할 수있는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 입니다. NSR i7 은 5 개의 광 모듈 (각각 분리 된 광원, 렌즈, 정밀 단계 포함) 을 사용하여 고밀도 회로의 성공적인 패턴화를 위한 시스템의 뛰어난 고해상도 이미징 기능을 제공합니다. 이 장치는 또한 많은 박막 패턴 기법을 결합하여 복잡한 디자인과 3D 피쳐를 한 단계로 만듭니다. NIKON NSR i7은 양성 및 음성 이미징, 전자 빔 리소그래피, 직접 쓰기 및 Deep-UV 노출과 같은 광범위한 리소그래피 기술을 사용하도록 설계되었습니다. 이 기계는 CD 선형성이 향상된 매우 정확한 스크리브 라인 (scribe line) 프로파일을 만들 수있는 고급 스캐너 설계를 사용합니다. 또한 정밀도 0.1m 이내의 정밀도로 패턴을 빠르게 정렬 할 수있는 정밀한 레이저 정렬 기능을 제공합니다. 이 도구는 사용자 터미널, 노출 스테이션, 클리닝 스테이션, 고차 정렬 자산, 이미지 데이터 처리 장치 등 다양한 작업 처리 장치와 통합됩니다. NSR i7 은 빠르고 간단한 디바이스 최적화를 지원하는 고급 검사 및 측정 기능으로 구성되어 있습니다. 또한 자동 프로세스 필터 제어를 통해 향상된 장치 수율을 제공합니다. NIKON NSR i7은 ATHENA 소프트웨어 제품군으로 구동되며, 여기에는 결함의 감지, 분석 및 시각화를 위한 내장 도구가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어 패키지는 사용자가 전체 통합 프로세스 성능을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 대용량 화면/터치 패널을 통해 빠르고 간편한 모델 운영 및 프로그래밍이 가능합니다. NSR i7 은 다양한 wafer-handling 시스템의 통합뿐만 아니라 wafer loading 및 unloading 을 위한 사용자 친화적 단계를 제공하는 확장 가능한 3 단계 스테이지 설계를 제공합니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 더 다양한 웨이퍼 크기를 지원하기 위해 조절 가능한 진공 장비로 설계되었습니다. "웨이퍼 카세트 '는 최대 의 정확도 와 속도 로 올바른 위치 로" 웨이퍼' 를 적재 한다. 매우 높은 처리량을 자랑하는 NIKON NSR i7 은 향상된 디바이스 생산성, 생산성, 비용 절감 효과를 제공합니다. 이 시스템의 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 및 고해상도 이미징 기능을 통해 NSR i7 유닛을 사용하는 제품이 최고의 품질 표준을 충족할 수 있습니다.