판매용 중고 NIKON NSR i14E #293814088

NIKON NSR i14E
ID: 293814088
Stepper.
NIKON NSR i14E 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 반도체 장치 생산에 필요한 고성능 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 이미징 및 리소그래피 장비입니다. 고급 광학 조정 모션 시스템과 정밀 제조 플랫폼이 특징입니다. NSR i14E는 NIKON 주력 시스템 중 하나로 에어 베어링 기술과 다중 옵션 6 인치 자동 카세트 매거진 (ACM) 을 통해 뛰어난 이미징 성능을 제공합니다. 100 나노미터 이하의 스캐닝 해상도와 높은 처리율을 허용하는 향상된 진공 제어 및 진동 격리를 갖춘 고해상도, 고속 광학을 통합했습니다. 이 장치는 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 패턴 설계를 기반으로 합니다. 이 패턴은 빠르고 높은 주파수 스캐닝이 필요 없이 이미징 뷰 (imaging field of view) 에 대한 웨이퍼의 정밀 이동을 제공합니다. 이렇게 하면 넓은 시야에 걸쳐 매우 세분적이고, 빠르고, 정확하게 장치를 정렬할 수 있습니다. NIKON NSR i14E 는 APC (Advanced Process Control) 시스템으로 구성될 수 있으며, 각 단계의 광 위치를 모니터링하고 견고한 정렬 및 이미지 처리 조건 제어를 위한 피드백 루프를 통합합니다. 이 도구의 고급 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기술은 웨이퍼 로딩 시간을 최소화하고 초정밀 스캔을 지원하여 높은 수율 제조를 제공합니다. NSR i14E는 또한 NIKON 독점 위치 정밀도 검사 (PAC) 자산을 통합하여 안정적인 웨이퍼 대 웨이퍼 정렬 정확성을 보장합니다. 이 모델은 또한 스테퍼의 출력 정확도를 추적하고 장비의 제조 프로세스 (fabrication process) 에 대한 추적 기능을 제공합니다. NIKON NSR i14E 의 통합 데이터 로깅 시스템은 위치, 초점, 노출 기능 등 모든 리소그래피 작업을 상세하게 추적합니다. 이를 통해 하드웨어/소프트웨어 문제에 대한 문제 해결 및 근본 원인 분석을 수행할 수 있습니다. 뛰어난 이미징 성능 외에도 NSR i14E 는 탁월한 안정성, 에너지 효율, 비용 절감 효과를 제공하도록 설계되었습니다. 고품질 웨이퍼 (Wafer) 전송 장치 덕분에, 이 기계는 다양한 장치 생산 어플리케이션에 적합합니다. NIKON NSR i14E 는 운영 환경이나 요구 사항에 관계없이 안정적이고 일관된 결과를 제공합니다. 통합 에어베어링 (Air Bearing) 기술은 오염을 예방하고 다운타임을 최소화하는 한편, 자동 제어 (Automated Control) 툴은 항상 최적의 매개변수 내에서 작동하도록 보장합니다. 이 자산은 NIKON 의 유명한 기술 지원 서비스 (Technical Support) 와 고객 서비스 (Customer Service) 를 통해 지원되며 필요에 따라 소프트웨어를 업그레이드할 수 있습니다. NSR i14E 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 뛰어난 성능과 신뢰성을 요구하는 반도체 디바이스 운영 및 자동화 애플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다. 에어베어링 기술, 정밀 광학 스캐닝 (optical scanning), 고급 제어 모델 (advanced control model) 은 고수율 반도체 제조에 이상적인 솔루션입니다.
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