판매용 중고 NIKON NSR i12D #293609816

NIKON NSR i12D는 고급 반도체 제조 공정에 사용되는 다재다능한 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 정확성과 생산성은 차세대 디바이스 구성 요구에 적합합니다. i12D에는 최대 12 인치 웨이퍼 크기와 초전력 레이저 소스에 의해 생성 된 2 개의 일관된 스캐닝 레이저 빔이 장착되어 있습니다. 이것은 최대 0.1äm의 매우 정확한 정렬 정확도와 최대 0.08äm의 해상도를 제공합니다. 동시에 여러 필드 크기를 노출시키고 결국 서브 미크론 구조를 달성 할 수 있습니다. 이 기능은 생산 시간을 최소화하고 반도체 패턴화 (patterning) 과정에서 수정량을 최소화하기 위해 사용됩니다. 또한 i12D 는 손쉬운 유지 관리를 위한 이동식 레이저 헤드 (laser head) 와 자동 정렬 및 초점 조정 기능 (operator efficiency) 을 제공합니다. 또한, 통합 석판화 소프트웨어를 통해 효과적인 패턴 제어 및 결과 평가가 가능합니다. 또한, 설치 공간을 줄이고 주변 환경을 보호하기 위해 낮은 진동 (low vbration) 프레임으로 설계되었습니다. NSR i12D 는 표준 렌즈와 비표준 렌즈를 포함한 다양한 전원을 지원하면서 AO (교류 주문 노출) 와 독립형 노출을 모두 제공할 수 있는 유연한 플랫폼입니다. 또한 박막 트랜지스터 장치를 수용할 수있는 박막 코팅을 지원합니다. 전력 면에서 i12D 는 노출 과정에서 여러 축을 제어할 수 있는 고급 9 축 제어 시스템을 갖추고 있다. & # 160; 이렇게 하면 모든 노출 작업에 대해 정확하고 반복 가능한 성능이 향상됩니다. 또한 임베디드 패턴 수정 소프트웨어를 통해 해상도 및 피쳐 크기 정확도가 향상되었습니다. 전반적으로 NIKON NSR i12D는 고급 반도체 프로세스에 이상적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기능은 차세대 장치 제작에 적합하며, 제조업체에게 생산 시간을 줄이고, 수율을 늘릴 수있는 권한을 부여합니다.