판매용 중고 NIKON NSR i12 #293745419

NIKON NSR i12는 다양한 반도체 장치를 처리하도록 설계된 다용도, 비용 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 통합 자동 정렬 기술을 갖춘 고급 하위 광학 장비를 통합하여 장치 기판을 빠르고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. NSR i12 에는 통합 시스템과 2 축 스캐너 유형 스테이지가 장착되어 있어 기판 및 디바이스의 정밀 구동, 스캔 및 정렬이 가능합니다. 통합 장치는 또한 초점 (focus), 이미지 위치 (image location), 바이어스 전압 (bias voltage) 및 기타 프로세스 제어 (process control) 와 같은 기능을 제공하여 장치 기판의 정확하고 균일한 패턴을 가능하게 합니다. 웨이퍼 스테퍼는 다양한 포토 마스크 (photomask) 를 지원하여 다양한 장치 설계를 유연하게 처리하도록 설계되었습니다. NIKON NSR i12에는 개선 된 조명 머신 (illumination machine) 이 있어 더 나은 기능과 더 나은 해상도를 생성 할 수 있습니다. AMDS (Advanced Mirror Detection Tool) 는 최적의 정렬 및 최적의 노출이 각 장치 패턴에 적용되도록 합니다. 이 스테퍼는 또한 조정 가능한 스캔 속도, 가변 용량, CL 회전과 같은 다양한 노출 설정을 지원합니다. 또한 NSR i12 는 새로운 UI 작업을 통해 자동 zeroing 자산, 높은 안정성 온도 제어, 향상된 처리량 등의 고급 기능도 제공합니다. NIKON NSR i12는 로우-k 유전체, 혼합 신호, SOI 및 MEMS 장치를 포함한 여러 장치 유형을 지원합니다. 내장 검사 카메라를 통해 처리된 장치를 고해상도 이미지 캡처 및 검토할 수 있습니다. 이 스테퍼는 4 인치 (4 인치) 에서 200mm (200mm) 까지 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으므로 대부분의 장치 제작에 적합합니다. NSR i12 wafer stepper는 안정성이 뛰어나며, 엄격한 운영 일정에서 정확성을 유지할 수 있도록 설계되었습니다. 고속 정밀 스캔 및 정렬은 반복 가능한 고해상도 장치 패턴을 보장합니다. 최신 모션 제어 (Motion Control) 기능도 지원하여 최상의 성능을 제공합니다. 또한 뛰어난 확장성과 서비스 수명을 제공합니다.