판매용 중고 NIKON NSR i11D #293807381

NIKON NSR i11D Wafer Stepper는 고급 반도체 웨이퍼 제작 애플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계된 초정밀 step-and-repeat 장비입니다. 10 nm (나노 미터) 의 스테핑 정확도를 갖춘 이 시스템은 고급 전자 장치 생산에 사용되는 고품질, 고해상도 (고해상도) 의 포토 마스크 패턴을 제공하도록 설계되었습니다. NSR i11D 는 조향 (steering) 과 매끄럽고 안정적인 스캐너 동작의 독특한 조합 덕분에 뛰어난 이미지 배치 정확도와 반복성을 제공합니다. NIKON "Plus Alignment" 기술은 고감도 레이저 검사를 사용하여 모든 스캐닝 지점에서 엄격한 정렬 정확성을 보장합니다. 이미징 헤드의 고정밀 렌즈와 고해상도 CCD (고해상도 CCD) 를 조합하면 웨이퍼 (wafer) 의 패턴 측정이 가장 정확합니다. 또한, NIKON 독점 "이미지 스트로브 (Image Strobe)" 기술은 동일한 패턴의 겹치지 않는 노출을 가능하게하며, 가장자리 이미지 왜곡이 적고 샷-투-샷 배치 반복성이 향상되어 훨씬 더 나은 패턴 정의를 설정합니다. NIKON NSR i11D Wafer Stepper와 함께 사용되는 정교한 소프트웨어는 사용자가 제어하고 모니터링할 수 있도록 종합적이지만 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 이 정교한 소프트웨어는 진단 기능 제공, 운영 로그 데이터 기록, Wafer Fabrication (Wafer Fabrication) 상태를 관리 및 추적할 수 있습니다. NSR i11D 는 효율적인 자동 웨이퍼 정렬 장치 (Automated Wafer Alignment Unit) 를 탑재하여, 여러 마커 (Marker) 를 일정 간격으로 입력하고 참조 이미지 (Reference Image) 를 사용하여 웨이퍼에 반도체 패턴을 가장 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 노출 시간당 최대 1.5 초의 노출 시간, 고급 노출 조정 (Advanced Exposure Calibration) 기능을 통해 처리량을 최적화하도록 설계되었습니다. 운영자의 안전을 보장하고 초정밀 머시닝 제품의 사용과 관련된 위험을 줄이기 위해 NIKON NSR i11D 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 여러 가지 내장 안전 조치로 설계되었습니다. 여기에는 비 접촉, 비 섭동 레이저 연동 도구, 더블 빔 셔터 및 계획되지 않은 활동 중 빛의 노출을 방지하는 근접 센서 에셋 (근접 센서 에셋) 이 포함됩니다. NSR i11D 는 효율적이고 안정적인 Wafer Stepper 솔루션을 원하는 고객에게 적합한 솔루션입니다. NIKON NSR i11D 는 탁월한 정확성, 반복성, 처리량을 제공하며, 운영자를 안전하게 보호할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 많은 제조업체가 제공하는 '신뢰성 있고 정확한 솔루션' 이라는 것이 입증됐으며, 생산능률을 높이려는 사람들에게 가장 적합한 솔루션입니다 (영문).