판매용 중고 NIKON NSR i11D #293615304

NIKON NSR i11D
ID: 293615304
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Stepper, 8" 1995 vintage.
NIKON NSR i11D는 가장 까다로운 석판화 요구 사항을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 최첨단 이미징 및 정렬 정확도 기술을 활용하는 i11D 는 웨이퍼 제작, 고급 패키징, MEMS, TSV 및 3D 인쇄 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 이 장치에는 최신 NIKON 리소그래피 장비가 장착되어 있습니다. 특허를 획득한 싱글 임펄스 빔 스캐닝 (single-impulse-beam scanning) 시스템을 통해 뛰어난 이미징 성능을 제공하므로 장치 생산량이 향상됩니다. NIKON Pro-Lith (TM) 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 인터페이스와 강력한 자동화 기능을 제공하여 여러 웨이퍼에 걸쳐 명확하고 일관된 패턴을 제공합니다. i11D에는 고급 이미징 및 정렬 장치도 있습니다. 높은 동적 범위 이미징 머신과 특허를 받은 LGA (Local Grid Alignment) 프로세스를 활용하여 최대 ± 2 마이크로미터의 원활한 정렬 정확도를 제공합니다. 이 기술을 통해 도구는 센서를 안정적으로 배치하고 정렬하여 고급 패키징 (advanced packaging) 및 MEMS (MEMS) 기술에 가장 높은 이미징 정확도를 제공합니다. 또한 i11D의 고급 패턴 (patterning) 에셋은 최고 수준의 이미징 정확도를 보장하는 초정밀 빔 제어 기능을 제공합니다. 또한 beamCurrent, focus 및 slice 설정을 정확하게 조정하여 원하는 패턴 해상도를 최적화할 수 있습니다. 또한, 유연한 기판 회전 및 기울기 보정 모델이 있으며, 이는 여러 웨이퍼에 걸쳐 높은 수준의 균일성과 정확성을 제공합니다. NSR i11D 는 높은 이미징 및 정렬 정확도를 요구하는 까다로운 리소그래피 (lithography) 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. 고급 이미징 및 정렬 시스템, 뛰어난 이미징 성능, 고급 제어 기능으로, 웨이퍼 제작, 고급 패키징, MEMS, TSV, 3D 인쇄 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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