판매용 중고 NIKON NSR i10 #9237557

NIKON NSR i10은 최대 정밀도와 처리량을 염두에 둔 완전 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 렌즈 기반 이미징 기술을 활용하여 처리 중인 웨이퍼의 이미지를 빠르고 정확하게 생성합니다. 이러한 높은 수준의 자동화를 설계에 통합함으로써, NSR i10 은 처리량 및 정확성 측면에서 이전의 스테퍼 (stepper) 시스템을 능가할 수 있습니다. NIKON NSR i10의 기본 단위는 150mm 고정 단계, x-y-z 높이 조정 및 여러 렌즈 및 도구 기능을 수용 할 수있는 터릿 스핀들로 구성됩니다. 이것은 움직임을위한 6 축 로봇으로 보완되어, 다양한 기판 처리 단계를 빠르게 수행 할 수 있습니다. 고급 광학 시스템도 포함되어 있으며, 컴퓨터 제어 셔터뿐만 아니라 구성 가능한 필드 렌즈 어레이 (field lens array) 가있는 온 축 (on-axis) telecentric illuminator로 구성됩니다. 이러한 기능은 조명을 최소화하면서 정확하고 선명한 이미지를 제공합니다. NSR i10 은 또한 고밀도 컬러 필터 (high-precision color filter) 와 같은 여러 가지 이미징 기능을 갖추고 있어 이미지 선명도를 높이고 결함을 강조하는 데 도움이 됩니다. 또한 동력화 된 샷 투 샷 포커스 제어 (shot-to-shot focus control) 를 포함하여 더욱 빠르고 정확한 광학 측정이 가능합니다. 또한 Light-on-demand 노출 장치 (Light-on-demand Exposure Unit) 를 사용할 수 있어 다양한 제품 및 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있도록 즉시 노출 시간을 조정할 수 있습니다. 성능 측면에서 NIKON NSR i10 기계는 최대 100% 의 다이 수율과 0.2 마이크로미터 (micrometer) 의 기능을 생산할 수 있으므로 프로토 타입 및 생산 레벨 마이크로 구성 프로세스 모두에 적합합니다. 또한, 이 도구는 NIKON 패턴 확인 소프트웨어와 호환되며, 사용자가 생성된 이미지가 원하는 사양 표준을 충족하는지 신속하게 확인할 수 있습니다. 전반적으로 NSR i10 은 마이크로패브라이션 (microfabrication) 업계를 위한 강력한 기능의 툴로서, 빠르고 정확한 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다. 고성능 측정뿐만 아니라 강력한 이미징/제어 기능을 갖춘 NIKON NSR i10 은 다양한 microfabrication 애플리케이션에 적합합니다.