판매용 중고 NIKON NSR i10 #293634217

NIKON NSR i10은 최첨단 리소그래피 프로세스에서 사용하도록 설계된 최상위 웨이퍼 스테퍼입니다. NSR i10 은 높은 처리량과 해상도로 뛰어난 성능을 제공하며, 뛰어난 오버레이 정확도를 제공합니다. 이 장치는 신뢰성이 높은 비 접촉, 밀폐, 진공 실 (vacuum chamber) 로 제작되어 생산 또는 연구 및 개발에 이상적입니다. NIKON NSR i10은 3 축 모터 드라이브 장비로 구동되므로 3 축 모두에서 고정밀 동작 제어가 가능합니다. 400kHz 듀얼 앰프를 통해 빠른 동기식 고속 스캐닝과 빠른 포지셔닝이 가능합니다. 또한, 스테퍼에는 실시간 초점 모니터링 및 자동 초점 최적화 (Autofocus Optimization) 와 같은 다양한 고급 기능이 포함되어 있어 일관된 성능과 뛰어난 오버레이 정확성을 제공합니다. 이 장치에는 CIS (Compact Interface System) 양식이 추가되어 자동화된 구성과 쉬운 설정이 가능합니다. 스테퍼에는 오버레이 평가를위한 현미경이 장착되어 있으며, 이상 검출을위한 통합 영상 장치 (integrated imaging unit for anomaly detection) 도 있습니다. 고급 광학 설정은 0.25 미크론의 최소 공중 이미지 해상도를 제공합니다. 또한, 고급 조명기는 다양한 조명원 (lumination source) 을 사용할 수 있으며 회절 효과를 최소화하기 위해 고도로 균일 한 다크 필드 흩어져있는 패턴을 특징으로합니다. NSR i10 은 또한 능률적인 고급 정렬 (advanced alignment) 절차를 통해 도량형 타겟을 사용할 수 없는 경우에도 정확한 등급 정렬을 보장합니다. 고정밀 동작 제어는 모든 컴포넌트로 확장되어 레티클, 레지스트, 포토 마스크를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 또한, 스텝퍼 (stepper) 는 복잡한 논리 작업 및 사용자 정의 스크립트를 통해 프로그래밍에 충분한 기능을 제공하여 더 넓은 도구에 통합할 수 있습니다. 작은 크기와 가벼운 무게로 인해 NIKON NSR i10은 공간이 제한적인 영역에 적합한 솔루션입니다. 밀집된 주택과 강력한 컨트롤을 결합하면 NSR i10 (NSR i10) 이 가장 극단적 인 환경 조건을 처리 할 수 있습니다. 강력한 성능, 고밀도, 다용도 기능의 조합으로 대부분의 프로덕션 어플리케이션에서 이 wafer stepper를 선택할 수 있습니다.