판매용 중고 NIKON NSR i10 #293606912
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NIKON NSR i10은 나노 미터 스케일링 범위에서 반도체 장치의 매우 정밀한 제작을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. NSR i10 에는 다양한 고급 기능이 장착되어 있어, 최적의 정렬 및 노출 정밀도를 제공합니다. 고해상도 이미징 (optical) 장비는 더 짧은 파장 이미징 시스템에 비해 더 나은 해상도를 제공합니다. 고급 전자 광학 복합 이미징 아키텍처는 초고해상도 (ultra-high resolution) 및 매우 정밀한 이미징을 구현하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 다양한 wafer 기판과 호환되며, 안정적인 처리량과 뛰어난 성능을 제공합니다. NIKON NSR i10에는 고급 정밀 정렬 장치도 있습니다. 활성 정렬 센서는 스테퍼의 미세한 움직임을 측정하여 전체 웨이퍼에서 서브 미크론 (sub-micron) 정렬 및 균일성을 보장합니다. 이 정렬 기계는 더 나은 제품 수율과 더 높은 수율 (yield accuracy) 을 제공하는 기존의 방법보다 훨씬 정확합니다. 또한 NSR i10 에는 완전 자동화된 마스크 로드 툴이 있어 포토 마스크 (photomask) 를 빠르고 오류 없이 로드할 수 있습니다. 모듈식 광원 (modular light source) 은 다양한 응용 프로그램의 파장이 다른 다른 다른 광원을 효율적으로 활용할 수 있도록 모듈식 광원을 가지고 있습니다. 이미징 모델의 정밀도를 유지하기 위해 매우 정확한 자동 초점 (auto focus) 에셋이 사용됩니다. 또한 NIKON NSR i10은 고효율의 에어컨 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 광학 장치 (optical unit) 를 안정화시켜 고품질 이미징을 제공하기 위해 최적의 온도 범위 및 습도 수준을 유지합니다. NSR i10 의 견고하고 신뢰할 수 있는 아키텍처는 극한의 상황에서도 시스템을 작동시킵니다. 이를 요약하기 위해 NIKON NSR i10은 반도체 장치의 정확한 제작을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 이며, 최대 서브 미크론 정렬 및 웨이퍼에 균일성이 있습니다. 활성 정렬 기계, 자동 마스크 로드 시스템 및 모듈식 광원이 특징입니다. 또한, 에어컨 도구는 최적의 온도 및 습도 수준을 보장하여 이미징 성능을 향상시킵니다.
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