판매용 중고 NIKON NSR i #293609515
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NIKON NSR i는 집적 회로 및 MEMS 기판의 생산 처리량을 높이도록 설계된 완전 자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 뛰어난 웨이퍼 처리 장비를 제공하며, 고해상도 광학 이미징 시스템을 갖추고 있습니다. NSR i 는 동급 최고의 웨이퍼 전송 기술을 제공하여 뛰어난 공동 평면 성능을 제공합니다. 이 장치는 단일 패스에서 최대 6 인치 웨이퍼 (wafer) 를 스캔 할 수 있으며, 이는 가장 빠른 스텝 퍼 중 하나입니다. 또한 최대 24mm 및 200mm 광학 필드를 포함한 다양한 노출 필드를 제공합니다. NIKON NSR i에는 다양한 요구 사항에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수있는 고급 이미징 머신이 포함되어 있습니다. 최대 0.075um의 해상도를 제공할 수 있으며, 아날로그 (analog) 및 디지털 (digital) 형식으로 제공됩니다. 이 도구는 빠른 잠금 스캔 (fast lock-in scanning) 과 같은 고급 기능을 사용하며 복잡한 상호 연결을 이미징 할 수도 있습니다. NSR i 는 매우 빠른 wafer loading 및 staging 에셋을 제공하여 25 초 이내에 최대 12 개의 wafer 를 로드하고 스테이징할 수 있습니다. 이 모델에는 자동 웨이퍼 처리 장비 (Automated Wafer Handling Equipment) 가 포함되어 있어 스테퍼 내에서 웨이퍼의 정확한 위치를 유지하므로 민감한 표면의 스크래치 가능성이 줄어듭니다. NIKON NSR i는 다른 NIKON 시스템 (예: NIKON 관리자 및 Metrology 시스템) 및 타사 테스트 및 측정 기기와 쉽게 통합 할 수 있습니다. 이러한 원활한 통합을 통해 품질 제어가 향상되고 운영 처리량이 향상됩니다. 최고 효율성을 보장하기 위해 NSR i 는 고출력 자동 초점 시스템을 제공하여 렌즈의 포커스 드리프트 (Focus Drift) 를 감지하고 교정할 수 있습니다. 이렇게 하면 각각의 스캔과 모든 스캔이 최고의 정밀도 (Precision) 와 품질 (Quality) 로 이미지화됩니다. NIKON NSR i는 품질, 효율성 및 처리량에 관한 것입니다. 이 제품은 대용량 웨이퍼 (wafer) 프로덕션 설정, 특히 프로세스의 모든 단계에서 탁월한 성능을 필요로 하는 MEMS 제작자를 위한 탁월한 옵션입니다.
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