판매용 중고 NIKON NSR G7 #9226167

NIKON NSR G7은 집적 회로 제작에 사용되는 최고급 웨이퍼 스테퍼 (스테퍼 리소그래피 장비) 입니다. 웨이퍼 기판에 최대 1 천 5 백만 개의 해상도 요소를 투영 할 수있는 고급 투영 이미징 시스템 (Advanced Projection Imaging System) 이 특징입니다. 고급 해상도는 4 nm, 스테레오 리소그래피 측정은 5 nm, 고속 스캔 기능은 시간당 최대 800 웨이퍼, 나노 포지셔닝 정확도는 0.2 nm입니다. NSR G7의 제어 장치에는 2 차원 광학 스캐너, 가변 확대가있는 프로젝션 머신 및 NPG (NIKON Pattern Generator) 가 포함됩니다. 광학 스캐너 (Optical Scanner) 는 이전 시스템의 이미징 속도보다 10 배 높은 안정적인 이미징 기능을 제공합니다. 투영 도구는 임계 치수 (CD) 제어에 대한 높은 정확도를 가지며 NIKON 독점 VMS (Variable Magnification Asset) 기술을 포함합니다. VMS를 사용하면 다양한 프로세스에 이상적인 배율을 선택할 수 있습니다. NPG는 더 작은 패턴에 대해 뛰어난 반복성으로 정확한 패턴을 생성합니다. NIKON NSR G7은 미러리스 (mirrorless) 자동 정렬, 고도의 기능을 갖춘 패턴 생성기, 프로세스 제어 소프트웨어 등 NIKON 고급 프로세스를 활용하여 향상된 구성 기능을 제공합니다. 미러리스 (Mirrorless) 자동 정렬은 참조 표시를 수동으로 정렬할 필요가 없습니다. 이 기능을 통해 동일한 웨이퍼에서 고밀도 설계를 보다 빠르게 제작할 수 있습니다. NPG 패턴 생성기 (NPG Pattern Generator) 는 고급 노드 리소그래피 프로세스에서 패턴을 생성할 때 최대 40% 의 생산성을 향상시키는 뛰어난 유연성을 제공합니다. 프로세스 최적화 (process optimization) 작업의 시간을 줄이기 위해 프로세스 제어 (process control) 소프트웨어는 프로그램을 작성하지 않고도 프로세스를 자동으로 조정하고 최적화할 수 있습니다. NSR G7 은 또한 wafer-to-wafer 정렬을 위한 고급 모델 아키텍처를 갖추고 있으며, 대규모 스캐닝 필드에 대해 1jm 의 배치 정확성을 제공합니다. 결과적으로, 넓은 시야에 비해 높은 처리량, 뛰어난 처리량 균일성, 뛰어난 오버레이 정확도를 제공합니다. 이 장비는 또한 처리를 위해 수천 개의 웨이퍼를 확보하고 높은 효율성을 증진시키는 철저한 자동 척 (auto-chucking) 시스템을 갖추고 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR G7은 하나의 신뢰할 수있는 시스템에서 극도의 정확도, 고해상도, 다양한 기능을 갖춘 고급 석판화 장치입니다. 최첨단 Fabricator 에서 대량 생산 수량 (Bulk Production Quantity) 에 이르는 다양한 제조 프로세스에 이상적인 선택입니다.