판매용 중고 NIKON NSR G6 #9362189

NIKON NSR G6
제조사
NIKON
모델
NSR G6
ID: 9362189
Steppers.
NIKON NSR G6은 다양한 photolithography 응용 프로그램에서 사용되는 wafer stepper입니다. 이 제품은 고품질 이미징 도구, 제품 및 기술로 유명한 최고의 광학 및 이미징 회사 인 NIKON (NIKON) 에서 제조합니다. NSR G6는 고급 옵틱, 나노메트릭 정확도, 고속 스캔, 최고 수준의 정확도 및 통합 웨이퍼 솔루션을 사용하여 뛰어난 웨이퍼 미세 구조 처리 기능을 제공합니다. 스테퍼는 직경 500mm, 두께 200mm 의 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 그것은 완전한 기능을 갖춘, 초저전송 전력 조명 장비를 특징으로하여 큰 웨이퍼의 석판화 (lithography) 처리를 매우 균일하게 가능하게합니다. 또한 뛰어난 화질 및 고급 환경 기능을 제공하는 인버터 (Inverter) 기반 전원 공급 장치를 선보입니다. 이 스테퍼는 유연한 자동화 및 간단한 시스템 프로그래밍을 위해 NIKON NIS-Elements 소프트웨어 패키지와 완벽하게 통합됩니다. 또한 자동 최적화, 고품질 패턴, 와퍼의 정확한 정렬 및 특성화도 가능합니다. 또한 통일성이 극대화된 정확하고 반복 가능한 패턴을 위한 다양한 고급 (advanced) 기능이 포함되어 있습니다. NIKON NSR G6은 매우 정확한 정렬 및 웨이퍼 편평성을 제공하는 높은 정확도, 모터 구동 기판 척 장치를 갖추고 있습니다. 또한 힘 유발 물 부종을 제거하는 플로팅 스테이지 디자인을 자랑합니다. 또한, 스테퍼는 부품 충돌 가능성을 제거하기위한 충돌 방지 측정 (collision prevention measure) 을 특징으로합니다. 또한 NSR G6 에는 마스크 (mask) 와 기판 (substrate) 사이의 오정을 효과적으로 보완하는 이중 눈 스캐닝 머신이 장착되어 있습니다. 이 도구를 사용하면 스테퍼가 우수한 이미지 균일성 (Uniformity) 을 생성하고 웨이퍼를 조명할 수 있습니다. 스테퍼는 또한 빠른 오류 감지를 위해 지능형 검사 시스템을 갖추고 있습니다. NIKON NSR G6은 이미징 프로세스의 높은 신뢰성과 반복성을 제공합니다. 고급 옵틱, 최고 수준의 정확도, 균일 한 프로세싱을 통해 반도체 장치, 집적 회로의 제작자에게 이상적인 선택이 됩니다. NSR G6 는 포괄적인 하드웨어 설계, 직관적인 소프트웨어 패키지, 고정밀 옵틱을 통해 신뢰할 수 있는 wafer lithography 애플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다.
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