판매용 중고 NIKON NSR G3A #9194239

NIKON NSR G3A (웨이퍼 스테퍼) 는 연구 실험실 및 웨이퍼 제작을 위해 개발 된 고도의 석판화 장비입니다. 고급 기술을 활용하여 포토 마스크 (photomask) 와 레티클 (reticle) 을 자동으로 정렬하고 노출시킵니다. 이어서 집적 회로 (IC) 를 생산하는 데 사용됩니다. NSR G3A (NSR G3A) 는 패턴을 레티클에서 웨이퍼 비행기로 직접 옮기는 스테퍼를 가지고 있습니다. 고해상도 레이저 광학 헤드 (Optical Head) 는 스캐닝 크기를 서브미크론 (Submicron) 수준으로 줄일 수 있으며 마스크-웨이퍼 (Mask-to-Wafer) 정렬 및 안정적인 수신을위한 스테이지 추적 센서가 장착 된 고해상도 고속 스테이지 시스템입니다. 또한, 이 장치에는 이미지 축소 장치 (image reduction machine) 가 장착되어 있어 패턴의 배율을 줄입니다. 이 도구는 정확한 정렬 및 빠른 노출을 위해 초고속 1 단계 움직임을 사용합니다. 또한, 단순 대기 (simple standby) 명령을 사용하면 자산을 언제든지 시작할 수 있으며, 2분 이내에 마지막 노출 위치에서 다시 시작할 수 있습니다. NIKON NSR G3A는 또한 KLA2D 이미지 처리 모델을 사용하여 완전히 자동화된 정렬 및 패튼 분석을 수행합니다. 장비는 웨이퍼 모서리 (wafer edge) 와 여러 노출 시퀀스의 정렬 패턴을 자동으로 인식하여 정확한 노출 크기를 확인합니다. NSR G3A (Advanced Design of NSR G3A) 는 낮은 일관성 조명 시스템이 폭 1 미크론 이하의 분리 된 관련 구조를 패턴화 할 수 있도록 보장합니다. 또한 프로세스 제어 소프트웨어 (process control software) 를 사용하면 조정 테스트를 수행하고 노출 프로그램을 만들고 편집할 수 있습니다. 이 장치에는 초점을 바꾸지 않고 난시를 빠르게 조정하는 전동식 마스크 레벨 링 (motorized mask-leveling) 단계가 장착되어 있습니다. 결론적으로 NIKON NSR G3A는 연구 실험실 및 웨이퍼 제작에 이상적인 선택입니다. 고해상도 레이저 광학 헤드 (Laser Optical Head), 전동 마스크 레벨 링 스테이지 (Motorized Mask Leveling Stage) 및 단순 대기 명령 (Standby Command) 을 결합하여 정확하고 정확한 패턴을 웨이퍼에 배치 할 수있는 효율적인 리소그래피 머신을 제공합니다. 따라서, 이 도구는 집적 회로를 만드는 데 매우 적합합니다.