판매용 중고 NIKON NSR G3A #293652738

NIKON NSR G3A는 차세대 고정밀 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 웨이퍼에 매우 복잡한 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 고급 광학 장비를 갖추고 있으며 대용량 생산의 가장 높은 수요를 충족하도록 설계되었습니다. NSR G3A는 최대 248nm 해상도로 패턴을 생성할 수 있습니다. NIKON NSR G3A는 시간당 최대 1400 개의 웨이퍼를 노출 할 수 있으며 최대 직경이 200mm 인 표준 6 ~ 8 인치 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. NSR G3A에는 각각 0.5nm 해상도를 제공하는 2 개의 독립적 인 galvano-mirror로 구동되는 스캔 시스템이 있습니다. 각 갈 바노 (Galvano) 거울에는 패턴의 선명한 영상을 제공하기 위해 고 알리티 아크로마 틱 렌즈 (high-r ality achromatic lens) 와 조절 가능한 조리개가 장착되어 있습니다. 니콘 NSR G3A (NIKON NSR G3A) 에는 유전체 상수의 변형으로 인한 왜곡을 보완하여 미러링된 이미지를 자동으로 조정하는 고유한 이미지 수정 장치가 있습니다. NSR G3A에는 선폭 (200nm) 의 패턴을 생성 할 수있는 고급 석판 기계가 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 최대 4 층의 구리, 금, 알루미늄으로 실리콘 웨이퍼를 노출 할 수 있습니다. NIKON NSR G3A는 최고 속도 100mm/sec로 0.5µm (500nm) 의 미세한 움직임을 할 수있는 높은 정밀 단계를 가지고 있습니다. 또한 NSR G3A 는 직관적이고 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있어 시스템을 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 이 메뉴는 직관적이고 작동이 간편하며, 사용하기 쉬운 기능 메뉴로, 패턴 데이터를 사용자 정의할 수 있습니다. 니콘 NSR G3A (NIKON NSR G3A) 는 빔의 움직임을 지속적으로 모니터링하고 오류 또는 손상을 방지하는 매우 안정적인 빔 모니터링 툴을 갖추고 있습니다. 고품질 생산성을 보장하기 위해 NSR G3A 는 완벽한 진단 자산 (Diagnostic Asset) 을 탑재하여 성능을 지속적으로 모니터링하고 운영 문제를 감지할 수 있습니다. NIKON NSR G3A 는 온도를 조절하고 기계의 효율적인 냉각을 보장하는 강력한 냉각 모델로 구동됩니다. NSR G3A에는 깨끗하고 먼지 없는 노출을 보장하는 선택 가능한 공기/제거 장비도 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR G3A (고급 웨이퍼 스테퍼) 는 매우 정확한 리소그래피가 가능하며 대용량 생산에 이상적입니다. 독보적인 광학 시스템, 이미지 보정 장치 (image-correction unit), 매우 정확한 단계는이 웨이퍼 스테퍼를 안정적이고 정확한 반도체 생산에 이상적인 선택으로 만듭니다.