판매용 중고 NIKON NSR FX-601F #9255391
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ID: 9255391
빈티지: 1998
Stepper
Gen 2 (370 mm x 470 mm)
Gen 3 (550 mm x 650 mm) LCD panels
Resolution: ≦ 2.4 µm (Isolated pattern), ≦ 3 µm (L/S)
Projection magnification: 1: 1.25 x
Exposure field 120 mm square to 98.78 (H) × 138 (V) mm (≦ ø 169.71 mm)
Reticle size, 6"
Holds: ~(50) Reticles
Overlay: ≦ 0.5 µm (EGA, |M| + 3σ)
Throughput: (30) Shots, 65 sec (40 mJ/cm²)
1998 vintage.
NIKON NSR FX-601F 는 반도체 업계의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. FX-601F는 아트 기능 인식, 정밀 정렬 및 프로세스 제어의 상태를 제공합니다. 독특한 하이브리드 드라이브 장비를 갖추고 있으며 최대 8 인치 직경의 기판을 처리 할 수 있으며, 대형 피폭이나 작은 필드 노출을 수용할 수 있으며, 고급 멀티 필드 스티칭 (multi-field stitching) 및 스티칭 최적화 기능을 제공합니다. FX-601F의 하이브리드 드라이브 (Hybrid Drive) 시스템은 다이렉트 드라이브 (Direct-Drive) 와 기어 드라이브 (Geared-Drive) 선형 모션의 조합을 사용하여 신뢰성이 높은 대형 기판을 고속 전송할 수 있습니다. 또한, FX-601F 는 공기 베어링 장치 (air bearing unit) 를 사용하여 전반적인 신장 및 열 확장을 줄여 다양한 환경에서 더 일관된 성능을 제공합니다. 이 기능 인식 기술을 통해 FX-601F는 작고 복잡한 기판을 처리 할 수 있습니다. FX-601F는 고급 다중 필드 스티칭 작업을 제공합니다. 이를 통해 컴퓨터에 내장된 최적화 소프트웨어를 사용하여 고해상도 스티칭을 사용할 수 있습니다. 이 최적화는 필요한 정밀도를 달성하는 데 필요한 필드, 트랙, 오버랩의 수를 최소화하고, 사용자 입력을 최소화함으로써 효율성을 극대화합니다. FX-601F는 고유하고 고급 기능 인식 도구도 갖추고 있습니다. "에셋 '은 높은 정확도 로 특징 을 정확 하게 식별 하고 등록 할 수 있으며, 그 결과 가장 복잡 한" 패턴' 에 대하여 높은 수율 을 낼 수 있다. FX-601F 의 고급 Optic 은 뛰어난 이미지 품질과 높은 정확도를 모두 보장합니다. 또한 FX-601F 에는 고속 자동 초점 모델과 쉬운 샘플 이동을 위해 동력 단계 (motorized stage) 가 포함되어 있습니다. FX-601F 는 생산성 향상과 최고의 성능 요구 사항을 안정적으로 충족하는 다양한 표준 툴 (Standard Tools) 을 갖추고 있습니다. FX-601F 는 고급 기능으로 인해 다운타임을 줄이고, 품질을 향상시키며, 높은 수율을 보장하도록 설계되었습니다. NIKON NSR FX 601 F는 반도체 제조의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 하이브리드 드라이브 장비 (hybrid drive equipment), 기능 인식 및 다중 필드 스티칭 기능을 갖춘 FX-601F는 다양한 기판에 안정적이고 강력한 도구입니다. 고급 옵틱 (Optic), 자동 초점 시스템 (Auto-Focus System) 및 동력 스테이지는 생산 처리량을 극대화하고 정확한 샘플 이동을 허용하며 뛰어난 이미지 품질을 보장합니다. FX-601F 는 최적의 성능과 안정성을 제공하는 반도체 제작에 이상적인 툴입니다.
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