판매용 중고 NIKON NSR 609B #293587904

NIKON NSR 609B
ID: 293587904
Scanner.
NIKON NSR 609B는 탁월한 정확성과 반복 성을 제공하도록 설계된 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 산업용 광학 시스템을 통합한 최첨단 디자인 (State-of-the-art design) 을 활용하여 다양한 배율로 사용자에게 매우 명확한 이미지를 제공합니다. 이 스테퍼에는 매우 매끄럽고 신뢰할 수있는 전동식 스테이지 (motorized stage) 가 장착되어 있어 웨이퍼를 보다 빠르고 정확하게 포지셔닝할 수 있습니다. 또한 고속 스캔 시스템을 사용하여 필요한 이미지를 매우 정확하게 캡처합니다. NSR 609B는 스캐닝 범위 (8.9-18.9 "m) 에서 작동하여 최대 0.5" m '의 선폭 및 해상도를 보장합니다. 이 제품은 직경 2 ~ 200 밀리미터, 두께 0.2 밀리미터 범위의 다양한 웨이퍼 및 기판과 호환되며, 단일 장치를 사용하여 광범위한 마이크로 구성 (micro-fabrication) 을 수행할 수 있습니다. 또한, 조명 적응 기능은 화이트라이트 (whitelight) 에서 초보라광 (ultra-violet light) 에 이르기까지 광원 유형에 관계없이 고정밀 이미징을 허용합니다. 노출과 관련하여 NIKON NSR 609B는 가장 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 듀얼 빔 (Dual-Beam) 사전 정렬 시스템이 장착되어 있어 스테퍼가 각 노출의 시작점과 끝점을 찾아서 측정할 수 있으며, 이는 전례없는 정확도입니다. 이렇게 하면 5밀리초의 노출 시간 (fosure time) 을 허용하여 최소한의 편차로 빠르고 안정적인 노출로 매우 부드러운 패턴을 얻을 수 있습니다. NSR 609B 에는 데이터 처리를 위한 사용자에게 친숙한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 또한 사용자에게 자동 반복 기능, 단일 단계 노출, 복합 패턴 노출 등 다양한 운영 기능을 제공합니다. 마지막으로, 이 스테퍼 (stepper) 는 손쉬운 유지 관리를 위해 제작되었으며, 사용자는 시스템을 분리하거나 부품을 이동하지 않고도 빠르게 부착하고 분리할 수 있습니다. 다양한 기능을 갖춘 NIKON NSR 609B는 정밀 웨이퍼 처리에 이상적인 도구입니다.
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