판매용 중고 NIKON NSR 4425i #9205852
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NIKON NSR 4425i 웨이퍼 스테퍼는 리소그래피 응용 프로그램의 처리량 및 정확성을 위해 설계된 고급 이미징 플랫폼입니다. 3.2 인치 (8.1cm) NA 수치 조리개로, 이 장치는 빠른 속도의 처리 시간을 통해 빠른 처리량 이미지를 지원합니다. 고밀도 (High Precision) 도구는 또한 통합 정지 및 이동 스캐닝 (stop and go scanning) 기능을 제공하여 리소그래피 프로세스 동안 한 섹션에서 다른 섹션으로 이동할 필요를 최소화합니다. 또한 NIKON NSR-4425I 는 심해 (deep-UV) 노출과 가변 작업 거리 (각 샷마다 독립적으로 설정 가능) 를 지원합니다. NSR 4425 I 는 다양한 필드 크기, 촬영 오버레이, 다이 투 다이 (die-to-die) 반복 성능 등의 고급 이미징 기능을 제공합니다. NSR-4425I (Integrated Factory Automation Software) 는 NSR-4425I 를 사용자의 특정 레시피와 함께 로드하여 자동 기능 배치 및 초점 제어를 지원합니다. 또한 내장 다이 레벨 (Die-Level) 기능 탐지를 포함하여 부품을 더 빨리 다이 (Die) 에 배치할 수 있습니다. 또한 통합 6 축 로봇 처리 장비는 안정적인 기판 동작을 지원합니다. NIKON NSR 4425 I는 IR 방사선을 차단하기 위해 전체 범위의 주거용 레티클, 2 가지 유형의 정렬 모드, 다차원 이미징 및 4pcumens 긴 패스 필터를 포함하여 업계 최고의 기능을 기본으로 제공합니다. 또한 높은 웨이퍼 변형을 줄이기 위해 고급 디지털 마이크로 미러 장치 정렬 시스템이 포함되어 있습니다. 또한 NSR 4425i 에는 광 전원 모니터링 기능이 포함되어 있어 전체 분야에 균일한 노출을 보장합니다. 니콘 NSR 4425i (NIKON NSR 4425i) 에는 강력한 이미징 기능 외에도, 각 단계의 속도와 정밀도를 높이는 데 도움이 되는 고밀도 (high precision) 단계와 사용자 친화적인 중앙 활성화 렌즈 장치가 포함되어 있습니다. 각 단계에서 초점과 배율을 조정하기 위해 자동 렌즈 제어기 (automatic lens control machine) 를 사용할 수도 있습니다. 또한, 고급 수차 수정 기능은 수동 보정의 필요성을 줄입니다. 또한, 이 도구는 UV, 가시적, 깊은 UV 파장에 맞게 구성될 수 있으며, 광범위한 작동 유연성을 제공합니다. 고급 기능과 기능 덕분에 NIKON NSR-4425I 는 반도체 제조, photomask 제작 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 고속, 균일 한 해상도의 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 또한 정밀도, 신뢰성, 속도가 필요한 고급 반도체 장치 어셈블리 및 장치 패턴에 적합합니다. 또한이 장치는 특히 Biomedical, Medical, Aerospace 및 Industrial Imaging 응용 프로그램에 적합합니다.
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