판매용 중고 NIKON NSR 4425i #9192105

NIKON NSR 4425i
ID: 9192105
Stepper.
NIKON NSR 4425i Wafer Stepper는 반도체, 미세 전기 기계 시스템 (MEMS), 집적 회로 및 기타 유사한 제품의 제조에 사용되는 고도의 산업 장비입니다. 정밀한 광학, 정밀 동작 제어 (precision motion control) 및 정교한 이미지 처리를 사용하여 기판 또는 웨이퍼 표면에 복잡한 패턴을 빠르게 생성하는 광학 석판화 장비입니다. 이 시스템은 각각 0.2, 0.15 "미크론 '의 작은 선폭과 간격을 생성할 수 있고, 충실도가 매우 높은 패턴을 만들 수 있다. 또한 직경 0.5 ~ 0.3 미크론 사이의 스루 홀을 생성 할 수 있으며, 최소 레이어 두께가 0.1 ~ 0.5 미크론 인 매우 정밀한 3 차원 홈과 섀도우를 생성 할 수 있습니다. 이 장치는 고급 F2 파장 레이저 (F2 wavelength laser) 를 갖추고 있으며, 최대 20W의 출력을 제공하며, 동적 다중 노출 기술을 통해 가변 기판 두께와 표면 평탄도의 영향을 줄입니다. 또한 고정밀도 패턴 정렬 머신 (high precision pattern alignment machine) 을 통해 패턴이 서로 정확하게 정렬되고 여러 기판 레벨에서 정렬됩니다. 이 도구에는 레이저 스캐너, 스테이지 및 드라이브 장치, 디지털 컨트롤러 및 COLLECT Vision 안내 에셋을 포함하는 인체 공학적 메인프레임이 포함됩니다. 이 모델에는 패턴 보기, 정렬, 인쇄 목표, Vision ToolBox 소프트웨어 및 COLLECT Optics Manager 장비와 같은 다양한 기능에 대한 액세스를 제공하는 소프트웨어 환경도 포함되어 있습니다. NIKON NSR-4425I Wafer Stepper는 비상 정지, 차폐 및 보호 커버를 포함하여 운영자를 보호하기 위해 다양한 안전 기능을 제공합니다. 또한 가장 위험한 작업 환경에서도 안전한 작동이 가능한 Class 1 레이저 안전 시스템 (Class 1 laser safety system) 이 장착되어 있습니다. 요약하자면, NSR 4425 I 웨이퍼 스테퍼 (I Wafer Stepper) 는 고품질 웨이퍼 및 반도체 제조에 필요한 정확성과 정확성을 제공하는 놀랍도록 고급적이고 안정적이며 강력한 산업 장치입니다. 강력한 광학, 모션 컨트롤 (Motion Control), 이미지 프로세싱 (Image-processing) 을 활용하여 미니스쿨 공차로 상세하고 정밀한 패턴을 생성하며, 고급 반도체 업계의 가장 정확한 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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