판매용 중고 NIKON NSR 4425i #9044476
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
NIKON NSR 4425i는 리소그래피에 사용되는 차세대 i 라인 스테퍼입니다. 이 제품은 NIKON NSR 시리즈 시스템의 일부이며, 특히 집적 회로, 디스플레이 장치, 광 구성 요소, photomask 등의 제품을 생산하도록 설계되었습니다. NIKON NSR-4425I는 웨이퍼 스테퍼로, 전자 빔을 사용하여 나노 미터 해상도로 웨이퍼를 패턴화합니다. NSR 4425 I 는 뛰어난 웨이퍼 스텝 성능을 위한 다양한 기술을 갖추고 있습니다. 고출력 렌즈 액츄에이터와 빔 스테이지 (beam stage) 가 장착되어 있어 초점을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 펄싱 효과를 최소화하면서 나노미터 정밀도를 사용하여 패턴 배치를 정확하게 할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR 4425 I는 통합 정렬 장비를 통해 매우 정확한 정렬 정확도를 제공합니다. 스테퍼는 또한 고급 프로세스 제어 기술을 갖추고 있습니다. 시스템은 패턴화하는 동안 모든 단계를 측정하고 평가하기 위해 특수 검출기 (specialized detector) 장치를 사용합니다. 이렇게 하면 패턴 선명도 (pattern clarity) 의 오류를 방지할 수 있으므로 모든 웨이퍼가 가능한 가장 정확한 방식으로 처리됩니다. 향상된 처리량을 위해 NSR 4425i는 고성능 제어 셔터를 제공합니다. 이 기능은 단일 샷 (single shot) 에서 선택적으로 선택된 영역을 노출시키는 옵션을 제공하여 노출 시간과 오류 위험을 크게 줄입니다. 또한, 매우 민감한 멀티 빔 정렬 머신 (multi-beam alignment machine) 은 레티클의 패턴이 아닌 영역을 줄이고 기판의 정밀도와 큰 패턴을 모두 표시하기가 훨씬 더 쉽습니다. 또한 이 도구는 뛰어난 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 고성능 모터와 고급 옵틱은 하이엔드 및 로우엔드 리소그래피 프로세스에 모두 적합합니다. 또한, 매우 정밀한 빔 로테이터 (beam rotator) 는 미세 초점 조정을 지원하며 소형 칩에서 더 큰 웨이퍼에 이르기까지 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 마지막으로, NSR-4425I 는 이전 모델보다 높은 수준의 정확도와 처리량을 지닌 고정밀도 고해상도 웨이퍼 (고해상도 웨이퍼) 를 생산할 수 있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 옵틱 (optic), 모션 제어 (motion control) 및 프로세스 제어 기능을 통해 생산성을 높이고 수율을 높여 고품질의 리소그래피 결과를 얻을 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다