판매용 중고 NIKON NSR 4425i #293679772
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ID: 293679772
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000, 2003
Steppers, 8"
Wafer type: Notch
Resolution: 0.7 micron
Reticle, 6"
PPD
Bar code reader
(2) Wafer loader indexers
Wafer loader (Type-3)
Wafer loader pre-alignment II
Wafer loader in line (left)
FIA
LSA
VRA
FC2
Auto focus
Ceramic 3-Pin ring chuck
Nest-V PC
Illuminator: 2500 Watts
2000, 2003 vintage.
NIKON NSR 4425i는 반도체 처리를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼에는 스테퍼 헤드와 듀얼 스테이지 웨이퍼 핸들러의 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 스테퍼 헤드에는 대규모의 고수치 조리개 NIKON TIRF 광학 시스템이 장착되어 있으며, 최소 회선/공간 (1.22 mil) 으로 매우 높은 해상도를 달성 할 수 있습니다. 듀얼 스테이지 웨이퍼 핸들러는 최대 6 인치 직경 300mm 웨이퍼의 정밀한 정렬 및 처리를 위해 설계되었습니다. 또한 자동 정렬 및 초점 조정, 정확한 웨이퍼 찾기, 수동 처리를 방지하는 자동 웨이퍼 이동 (Automated Wafer Movement) 등 고급 자동화 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 더 빠르고 정확한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 이것은 리소그래피, 사진 마스킹, 도량형과 같은 웨이퍼 처리 작업에 이상적입니다. NIKON NSR-4425I에는 가변 파장, 레이저 조명 방전 램프가 장착 된 고급 광원이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 광원 에 노출 시킬 때 더 큰 유연성 과 정확성 을 얻을 수 있다. 램프는 넓은 다이내믹 레인지 (dynamic range) 와 일정한 색채를 특징으로하며 정확한 사진 석판화를 허용합니다. 또한 스테퍼에는 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 이 장착되어 있어 사용자가 웨이퍼 처리 작업을 실시간으로 모니터링하고 필요에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스로, 모니터링 및 제어 기능에 대한 간단하고 직관적인 액세스를 제공합니다. 또한 패턴 인식 (pattern recognition), 모서리 감지 (edge detection) 등 다양한 고급 기능을 자랑합니다. 이 "스테퍼 '는 튼튼 하고 믿을 만한" 프레임' 위 에 세워져 있어서, 혹독 한 환경 에서 장기간 수술 을 하는 데 적합 하다. 견고한 진동 감쇠 (vibration-dampening) 설계는 중요한 정렬 및 초점 매개변수가 오랜 시간에 걸쳐 일관되게 유지됩니다. 또한 조절 가능한 빔 조리개 (beam aperture) 가 있으므로 다양한 응용 분야에 적합합니다. NSR 4425 I 는 wafer 를 처리 및 처리할 때 높은 속도, 정확도, 정확도를 제공할 수 있는 전문적인 wafer stepper 입니다. 고급 자동화 (automation) 및 제어 (control) 기능을 통해 웨이퍼를 빠르고 정확하게 처리할 수 있으므로 반도체 제조 및 연구 응용프로그램에 적합합니다.
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