판매용 중고 NIKON NSR 4425i #293606712

NIKON NSR 4425i는 반도체 제작에 사용되는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 대형 광학과 대형 냉장 방출 총 (FEG) 전자 소스를 장착하여 대형 기판을 처리 할 수 있습니다. NIKON NSR-4425I의 광학 장비는 고품질 객관식 렌즈 (objective lens), 조명기 (illuminator) 및 빔을 두 개의 별개의 광경으로 분할하는 빔 분할 시스템으로 구성됩니다. 대물렌즈 (objective lens) 는 기판 내에서 고해상도 스캔을 허용하는 반면, 조명기는 기판 전체에 균일 한 빔 강도를 생성합니다. 빔 분할 장치 (beam-split unit) 는 빔을 두 개의 광 경로로 나누어 기판의 두 다른 위치를 동시에 이미징 할 수 있습니다. 이렇게 하면 제조 과정에서 처리량 및 기판의 균일성이 향상됩니다. NSR 4425 I의 FEG 전자 소스 (FEG electron source) 는 기존의 전계 방출 소스보다 더 높은 에너지 전자를 제공하여 기판을 더 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 또한, FEG 소스는 감소 된 노이즈 레벨 (noise level) 과 짧은 전자 펄스 너비 (electron pulse width) 를 제공합니다. NSR-4425I 에는 원격/로컬 운영 및 시스템 관리 기능을 제공하는 포괄적인 제어 시스템 (Control Machine) 이 장착되어 있습니다. 다각형 (Polygonal), 선 (Line) 및 커브 (Curve) 를 포함한 다양한 모양 레이아웃과 여러 패턴 이동 및 오버레이 제어 작업을 지원합니다. 또한, 사용자는 다른 전자 소스를 사용하여 시스템보다 최대 20 배 빠른 처리 속도를 선택할 수 있습니다. 요약하면, NIKON NSR 4425 I은 가장 까다로운 반도체 제작 프로세스를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고해상도 광학 공구와 전자 전력 (electron power) 및 종합 제어 자산 (comprehensive control asset) 을 결합하여 처리 속도가 빨라지고 기판 처리가 향상됩니다.