판매용 중고 NIKON NSR 4425i #293604875
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NIKON NSR 4425i는 높은 정확도, 높은 처리량, 비용 효율적인 레티클 검사 및 도량형을 제공하는 차세대 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 최첨단 툴은 업계 최고의 이미징 기능과 탁월한 환경 성능을 결합하여 최첨단 IC 리소그래피 (lithography) 프로세싱에서 가장 까다로운 기능형 어플리케이션에 이르기까지 모든 작업을 처리할 수 있습니다. NIKON NSR-4425I의 핵심은이 회사의 독점 DRY 기술입니다. 따라서 업계 최고의 왜곡 (distortion) 및 초점 (focus) 수정 기능을 통해 최적의 이미징 성능을 구현하여 스캔 필드에 광학 수차가 줄어듭니다. 이 장치는 224,000 스테퍼 필드 위치를 설정 할 수 있으며 0.25äm 설계 규칙 이상에 대해 최대 3 ~ 8äm 해상도를 제공합니다. 또한 NSR 4425 I 는 뛰어난 Optic 및 이미징 성능 외에도 설치 시간 향상, 기판 처리량 향상, 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 검증 단계 감소 등을 제공합니다. 이 장치의 강력한 환경 기능에는 웨이퍼 온도 및 습도 제어, 저진동 메커니즘 (low vbration mechanism) 및 저입자 진동 필터 (low particle vibration filter) 가 포함됩니다. NIKON NSR 4425 I는 또한 자동 및 수동 기능 분석, 병합 및 스티칭, 2D, 3D 및 인라인 기능에 대한 자동 석판 검사 등 다양한 도량형 기능을 제공합니다. 또한 데이터 마이닝, 규칙 검사 및 기타 고급 분석 기능을 제공하여 빠르고 정확한 결함 감지, 프로세스 검증 (process qualification) 기능을 제공합니다. NSR 4425i 는 응급 정지 (Emergency-Stop) 버튼, 걱정 없이 웨이퍼 및 마스크를 검사할 수있는 안전 커버, 입자를 검사하기 위해 낮은 산란 레이저 장치 (Low Scattering Laser Unit) 를 갖춘 운영자 안전성을 염두에두고 설계되었습니다. 또한, 이 장치에는 프로세스 제어가 내장되어 있으므로, 사용자는 리소그래피 프로세스를 손쉽게 조정하고 도량형 (metrology) 작업을 모니터링하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 결론적으로, NSR-4425I는 높은 정확도, 정확성 및 성능을 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. DRY 기술, 환경 제어, 도량형 기능 및 안전 기능을 갖춘 반도체 리소그래피 및 검사 어플리케이션에 이상적인 도구입니다.
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