판매용 중고 NIKON NSR 2205 i8 #9248501

NIKON NSR 2205 i8 Wafer Stepper는 8 인치 웨이퍼를 위해 특별히 설계된 다기능 리소그래피 장비입니다. 이 시스템은 완전히 자동화되어 다양한 광학 석판화 (optical lithography) 애플리케이션에 사용될 수 있습니다. 최첨단 2 × 줌 렌즈, 이중 6 위치 광학 설정 및 새로 개발 된 i 라인 소스가 특징입니다. NSR 2205 i8 Wafer Stepper는 0.5 마이크로 미터 해상도에서 5 마이크로 미터의 작은 실리콘 웨이퍼에서 패턴을 정확하게 재현 할 수 있습니다. 고급 정렬 정확도 (Advanced Alignment Accuracy) 와 애닐링 시간 (Annealing Time) 을 줄여 주기 시간을 최소화하고 웨이퍼 수율을 줄이는 데 필수적입니다. 마스크 정렬 장치 (mask alignment unit) 와 온보드 액추에이터 (on board actuator) 가 장착되어 있어 리소그래피 중에 마스크를 웨이퍼 중앙에 정확하게 배치할 수 있습니다. NIKON NSR 2205 i8 에는 스캔 헤드 (scan head) 와 완전 통합된 소프트웨어 (software) 가 장착되어 있어 리토그래피를 정확하게 제어하고 반복 가능한 성능을 유지할 수 있습니다. 이 기계는 2 개의 플래시 노출 프로세스를 사용하며, 이는 단일 노출에서 미시적 (microscopic) 및 메조 (mezzo) 기능을 모두 이미징 할 수 있습니다. 또한 Tape-to-Tape, CoreComplete 및 Maestro와 같은 인기있는 리소그래피 설계 시스템과의 호환성을 제공합니다. NSR 2205 i8에는 선형과 오프라인의 두 가지 스캔 모드가 있습니다. 선형 (Linear) 모드는 이미지를 웨이퍼로 직접 렌더링하고 오프라인 (Offline) 모드는 이미지를 중간 기판으로 렌더링한 다음 웨이퍼 (Wafer) 로 전송할 수 있습니다. 또한 해상도가 높은 이미징을 위해 6X와 12X의 두 가지 광학 설정을 제공합니다. 이 도구는 검토 스테이션 내장, 스펙트럼 스캔, 자동 초점 등 고급 도량형 기능을 제공합니다. 또한 정렬 확인 자산, 자동 웨이퍼 매핑 (automatic wafer mapping), 정렬 체크 클램 (alignment checkclamp) 과 같은 옵션 기능이 장착될 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR 2205 i8 Wafer Stepper는 8 인치 웨이퍼를 위해 특별히 설계된 지능형 다기능 석판 모델입니다. 이 제품은 패턴 정확도 및 처리량 측면에서 탁월한 결과를 제공하므로 하이엔드 리소그래피 (lithography) 애플리케이션을 위한 최적의 선택입니다.