판매용 중고 NIKON NSR 2205 i14E2 #9210465
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판매
ID: 9210465
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Stepper, 8"
Magnification: 1/5 Reduction
Light source: i-Line (365nm)
Resolution: 0.35um
Variable Lens NA: 0.50~0.63 Variable
Exposure filed size: 22mq (Up to 17.9H by 25.2V)
Control: Bellows unit
Lens adjust: Micrometer / PIEZO / Washer
Lamp: 2.5kW Hg
PC System hardware:
Type: DMCC
UPS: No
Reticle size: 6"
Reticle microscope: Fixed
Alignment sensor:
LSA
FIA
LIA: No
TTLFC2
Illumination system: SHRINC4 Type
Interferometer system:
Interferometer type: 5517C
Wafer stage
Reticle stage
Multi focus system
Leveling system: Table
Wafer loader: Type3
OF Type
(2) Wafer cassettes
Left in-line wafer (DNS)
Wafer pre-align type: NC PRE2
Wafer edge exposure: No
Reticle loader: Normal
(3) Libraries / (30) Slots
Barder reader
Particle checker: (PPD3)
Control rack:
Type: Normal (Right)
Cable length: Normal
Signal tower: (4) Colors
Chamber:
ASHAHI N4A-C Double NEMA (CVCF)
BATC / CATC / LLTC: 23.0 / 23.0 / 23.0 °
Missing parts:
ALG A-504 PCB
ALG A-505 PCB
ALG A-506 PCB
LLTC TEMP Sensor
WL Robort arm
WS X Linear AMP
Piezo driver (A3, A4 PCB)
Electrical power: 208V, 60Hz, 3 phase
2001 vintage.
NIKON NSR 2205 i14E2 는 최첨단 웨이퍼 스테퍼로서, 대용량 디바이스 구성 프로세스에 매우 정확하고 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 리토그래피 (lithography) 및 반복 이미징 어플리케이션 모두에서 전례없는 수준의 해상도, 뛰어난 성능, 다양한 기능을 제공합니다. NIKON NSR-2205I14E2 는 다양한 기능을 제공하여 최적의 디바이스 구성 성능을 보장합니다. over-etching 및 dry etching과 같은 고급 프로세스를 위해 강력한 NSR-iF2 리소그래피 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 2 차원 및 3 차원 정렬 정확도를 제공하는 고급 이미징 엔진이 장착되어 있습니다. 또한 수직 이동 장치 (vertical shift mechanism) 및 고정밀 레이저 자동 레벨 머신 (high-precision laser auto-level machine) 과 같은 다양한 고급 기술을 사용하여 포토마스크 및 웨이퍼의 정확한 위치를 보장합니다. 이 도구는 정밀도 ± 1nm () 의 장치를 생산할 수 있으며, 넓은 영역 장치에서도 균일 한 이미지를 제공합니다. 그것 은 비정질 규소, 결정질 규소, "게르마늄 '및" 갈륨 비소' 와 같은 여러 가지 언어 와 기질 과 호환 되도록 설계 되었다. 자산은 최대 10,000 mm ² 크기의 대용량 장치를 처리 할 수 있습니다. 초점 (focus) 을 확장하여 기판 레이어에 더 깊이 침투하여 프로세스 융합에 더 큰 유연성을 제공합니다. 이 모델에는 자동 초점 (auto-focus) 장비가 장착되어 있어 초점 위치 (focus position) 를 빠르고 쉽게 조정하여 각 노출에서 뛰어난 화질을 제공합니다. 이 시스템은 프로세스 설정, 웨이퍼 (wafer) 정보 및 장치 진단을 위한 전용 메뉴를 갖춘 직관적인 사용자 인터페이스로 설계되었습니다. 이 제품은 광학/기판 정렬 시스템을 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있는 완벽한 시스템 제어를 제공합니다. 또한 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 매개변수를 쉽게 수정하고, 노출 매개변수를 변경하고, 여러 레시피를 저장하여, 유연성과 효율성을 극대화할 수 있습니다. NSR-2205 I14E2 는 다양한 생산 환경에서 탁월한 안정성과 정확성을 제공하는, 탁월한 업계 수준의 설계를 자랑합니다. 습도 및 진동 보호 (Vibration Protection) 툴이 통합되어 있어 환경 변화가 자산 성능에 미치는 영향을 줄여 줍니다. 이 모델은 또한 유지 보수가 적고 교정이 용이하며, 고정밀 즉각적인 교정 장비와 문제 없는 작동을위한 자체 진단 (self-diagnostic) 기능을 갖추고 있습니다. NSR 2205I 14E2 는 고성능, 신뢰성, 정확한 웨이퍼 스테퍼로서 가장 까다로운 디바이스 구성 프로세스에서 탁월한 성능을 제공합니다.
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