판매용 중고 NIKON NSR 2205 i14E2 #293808906
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NIKON NSR 2205 i14E2 는 고성능 웨이퍼 스테퍼로, 매우 정밀하고 매우 빠른 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. 14 인치 (14 인치) 구성으로 더 큰 부품이 이미지화되거나 노출될 수 있으며, 다양한 기능과 옵션을 제공합니다. 장비의 고급 이미지 광학 및 스테이지 모션 시스템 (stage motion system) 은 고급 스텝 앤 리피트 ± 2.0 äm 정밀 정렬로 인해 열 왜곡 및 확장을 최소화하면서 안정적이고, 정확하며, 빠른 이미지 위치를 제공합니다. 이 장치의 이미지 머신은 메인 렌즈 (main lens) 와 각각의 동축 이미징 렌즈 (coaxial imaging lens) 로 구성됩니다. 주 "렌즈 '는 끊임없이 변하는" 이미지' 왜곡 을 조정 하는 반면 영상 "렌즈 '는 수차 를 제거 하고 최적 의 화질 을 제공 한다. 또한 효율이 높은 모터 제어 도구를 통해 수차를 최소화하여 성능을 극대화할 수 있습니다. 고급 모터 컨트롤 (motor control) 에셋을 사용하면 고속 정렬 및 이동을 위해 웨이퍼를 최대 4,000mm/s까지 이동할 수 있습니다. NSR 2205의 0.7-13.0äm 해상도는 서브 미크론 크기의 패턴이 안정적으로 노출되도록 보장합니다. 통합 모델에는 4 단계 대상을 정확하게 감지 할 수있는 QLS (Quadra Level Sensor) 가 장착 된 4 방향 스캔 장비도 제공됩니다. 또한, 시스템은 스티칭 정확도를 향상시키기 위해 AEC (Auto Exposure Control) 와 모든 회전 오류를 감지하고 보상하기위한 BAT (Beam Auto Tilt) 기능을 갖추고 있습니다. NIKON NSR-2205I14E2 는 또한 고급 온도 조절 장치 (Temperature Control Unit) 를 제공하여 깨끗하고 정확한 웨이퍼 처리를 위해 최적의 작동 온도를 유지합니다. 고급 미러 센서 (advanced mirror sensor) 는 웨이퍼 표면을 실시간으로 모니터링하고 수정하여 최대 정확도를 제공합니다. 기계의 고급 진동 감쇠 도구 (advanced vibration-dampening tool) 는 진동으로 인한 웨이퍼 왜곡을 최소화하여 에셋이 고정밀 웨이퍼 처리를 수행할 수 있도록 도와줍니다. NSR-2205 I14E2 는 정밀도, 속도 및 정확성이 필요한 운영 환경에 적합한 스테퍼입니다. 14 인치 구성과 고급 기능으로 다양한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다. NSR 2205 i14E2 는 신뢰할 수 있는 이미지 처리 모델, 뛰어난 정렬 및 노출 정확도, 고급 온도 조절 및 진동 감쇠시스템 (i14E2) 을 통해 최상위 웨이퍼 처리를 위한 최적의 플랫폼을 제공합니다.
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