판매용 중고 NIKON NSR 2205 i14E2 #293799874

NIKON NSR 2205 i14E2는 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 22nm에서 풀 필드 노출을 통해 최대 0.07 (m) 의 해상도와 4,000 개 이상의 와퍼를 제공합니다. 이 장비는 고급 이미징 기술과 독점 IFEM (Inter-Field Exposure Method) 을 통합합니다. 이렇게 하면 필드 간의 정렬 정확도가 향상되어 수율이 높아지고, 제품의 신뢰도가 높아집니다. 또한 NIKON NSR-2205I14E2에는 향상된 FSE (Field Search) 메커니즘이 장착되어 있어 웨이퍼의 패턴 배치 오류를 줄일 수 있습니다. 강력한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 안정적인 환경을 제공하기 위해 제어 된 대기 챔버 (CAC) 가 포함되어 있으며, 이는 민감한 재료를 사용하는 데 도움이됩니다. 또한 정확하고 안정적인 웨이퍼 로딩을위한 대형 13 인치 웨이퍼 로딩 테이블과 16 인치 어댑터 플레이트가 있습니다. NSR-2205 I14E2 는 또한 레티클 제어를위한 고급 기능을 제공하여 패턴 배치 정확도를 높입니다. 또한 자동화되고 정확한 정렬 시스템을 갖추고 있어 노출 정확도를 향상시킵니다. 또한이 장치는 자동 마스크 표면 검사기 (automated mask surface inspection machine) 를 통합하여 석판 결함을 예방합니다. NSR-2205I14E2 에는 프런트엔드 툴 포트 (front-end tool port) 와 다양한 구성요소 (component) 가 추가되어 있어 외부 시스템과의 통합 및 연결이 가능합니다. 또한, 이 도구는 프로세스 우수성을 높이기 위해 자동화된 결함 검사 도구를 갖추고 있습니다. 최대 가동 시간을 보장하기 위해 NSR 2205 i14E2 는 소프트웨어 및 하드웨어 진단, 원격 진단 지원, 사전 예방 유지 관리 기능을 제공합니다. 또한 자동 도구 접근자 제어 (Automatic Tool Accessor Control), 전체 이미지 프로세스 매개변수 및 자동 노출 제어 기능이 있습니다. 결과적으로, 이 고급 웨이퍼 스테퍼는 뛰어난 성능, 정확성 및 신뢰성을 제공합니다.