판매용 중고 NIKON NSR 2205 i14E2 #293794192

NIKON NSR 2205 i14E2는 주어진 크기의 반도체 웨이퍼를 생산하도록 설계된 고해상도 포토리토그래피 스테퍼입니다. 이 장비에는 회절 제한 광학 시스템, 대규모 스캔 범위, 높은 수준의 성능, 안정성이 장착되어 있습니다. 이 장치는 완전하게 자동화되었으며 템플릿 편집 (template editing), 프로그래밍 가능한 마이크론 증분 (programmable micron increments for alignment), 빠른 처리 시간 (fast throughput time) 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이 기계에는 수치 조리개가 0.63 인 DUV MES (Microfield Exposure Series) 광학 도구와 0.71m로 반도체 웨이퍼에 나노 미터 스케일 구조를 만들 수있는 기능이 있습니다. 광학 자산 (Optics Asset) 은 전체 시야에서 균일 한 패턴을 유지하고 효율적인 수차 수정 및 회절 (Diffraction-Limited) 이미징 품질로 뛰어난 명암비 전송을 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 10 x 10mm (10 x 10mm) 의 대형 스캔 범위가 포함되어 있어 현대 반도체 제조업체의 요구를 완전히 충당합니다. 장비의 고급 벡터 스캔 기술은 진동없이 안정적인 스텝 앤 리피트 (step-and-repeat) 노출 및 라인 스티치 노출을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 미크론 정렬 안정성을 위해 간격 보정 장치 (gap correction unit) 를 사용하여 장기 패턴화 균일성에 대한 높은 수준의 반복성을 제공합니다. 이 기계는 전용 사용자 인터페이스 (user interface) 나 온보드 프로그래머블 로직 컨트롤러 (programmable logic controller) 를 통해 여러 가지 방법으로 제어 할 수 있습니다. 또한 무접촉 보호 (Contactless Protection), 고속 셔터 (Fast Shutter), 다중 안전 잠금 장치 (Multiple Safety Lock), 온도가 떨어지면 자동 차단 (Automatic Shoff) 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. NIKON NSR-2205I14E2 는 고급 기능 (예: 웨이퍼 로드, 언로드 및 노출 자동화) 을 통해 탁월한 처리량을 제공합니다. 또한 PTI 조정을 통해 스캐닝 중에 매개변수 분산 (parameter dispersion) 을 수정할 수 있으며, 템플릿 편집 기능을 사용하면 노출 전에 패턴을 시각화할 수 있습니다. NSR-2205 I14E2는 대규모 고성능 반도체 생산에 이상적인 올인원 스테퍼입니다. 다재다능하고 강력한 공구 세트는 반복성 (repeatibility) 과 정확성 (accuracy) 을 위해 설계되었으며, 신뢰할 수 있고 다재다능한 사진 리토그래피 (photolithography) 자산을 찾는 제조업체에 적합한 선택입니다.