판매용 중고 NIKON NSR 2205 i14E2 #293778925
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NIKON NSR 2205 i14E2는 고급 반도체 프로세스 및 리소그래피 애플리케이션을 위해 설계된 고성능 스테퍼입니다. i14E2 는 자동 포커스 조정 장비와 내부 제한 스위치 (internal limit switch) 를 모두 갖추고 있어 웨이퍼와 포토마스크 (photomask) 의 정확한 위치를 보장합니다. i14E2는 정밀 광학 장치 (optical unit) 가있는 석판화 시스템으로, 0.25 µm의 해상도에서 최대 200mm의 대형 기질을 이미징 할 수 있습니다. 이 기계는 높은 수치 조리개와 높은 해상도를 결합하여 생산 석판화를위한 다양한 솔루션을 제공합니다. NIKON NSR-2205I14E2 스테퍼는 넓은 노출 범위에서 최적의 해상도를 위해 High NA 싱글 렛 투사 렌즈를 사용합니다. 이 도구는 0.5 초/필드의 빠른 노출 속도를 가지며, 이는 석판 공정의 오염을 최소화하고 처리량을 향상시킵니다. 렌즈는 밝기와 대비를 높이기 위해 다층 반사 코팅 (MARC) 으로 코팅됩니다. i14E2 웨이퍼 스테퍼는 또한 이중 서보 자동 정렬 자산 덕분에 높은 정렬 정확도 (± 0.5 äm) 를 제공합니다. NSR-2205 I14E2 에는 임베디드 (Embedded) 컴퓨터가 장착되어 있어 모델 작동이 쉽고 간단합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 운영자는 장비 설정을 신속하게 구성하고, 설정을 조정하고, 웨이퍼 데이터를 관리할 수 있습니다. 스텝퍼 (stepper) 는 원격으로 작동하여 사용자가 디바이스를 원격으로 모니터링하고 작동할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 정밀 에지 노출 (precision edge exposure) 을 수행하여 정밀도가 높은 섬세한 구조의 이미징을 가능하게합니다. 안정성을 보장하기 위해 i14E2는 먼지 없는 작업 환경과 향상된 명암을 위한 고대비 (high-contrast) 보상 필터를 갖추고 있습니다. 마지막으로, i14E2 스테퍼는 고속 웨이퍼 처리량을 가지고 있으며, 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 전반적으로 NSR 2205 i14E2 스테퍼는 강력하고 다용도 인 리소그래피 (lithography) 장치로, 모든 유형의 반도체 프로세싱의 생산 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 고정밀 설계, 빠른 노출 속도, 높은 처리량을 자랑하는 i14E2 는 운영 리소그래피 (lithography) 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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