판매용 중고 NIKON NSR 2205 i14E2 #293610268

NIKON NSR 2205 i14E2는 초정밀도, 고 처리량 마이크로 가공을 위해 설계된 고급 193nm 침수 유형 마이크로 리소그래피 장비입니다. 최대 해상도 14 nm, 이미지 필드 크기 450 mm x 450 mm 및 확장 된 초점 깊이를 제공합니다. 고급 스캐너 (Scanner) 와 렌즈 시스템 (Lens System) 은 최고의 처리량을 보장하며 레티클과 마스크 정렬을 모두 위한 뛰어난 이미징 결과와 단순하고 직관적인 제어를 제공합니다. 이 장치에는 차세대 I-line CHSM (Coherent High Sensitivity Mode) 옵틱이 장착되어 있어 매우 높은 광학 성능을 제공합니다. 특허를받은 wavefront 적응, wavefront 최적화 및 편광 기능뿐만 아니라, 근처의 웨이퍼로 높은 정확도 오버레이 측정을위한 개선 된 수직 정렬 머신 (vertical alignation machine) 이 있습니다. 이 도구는 또한 인라인 진공 노출 후 베이크 에셋 (in-line vacuum post- exposure bake asset) 을 특징으로하며 레티클의 수명을 연장하고 일관된 고해상도 이미징 품질을 보장합니다. 이미지 처리 기능 외에도 NIKON NSR-2205I14E2에는 풀 필드 자동 정렬, 내장 자동 조정, 훨씬 향상된 프린터 패치 적용 전략, 고급 에지 배치 조정 등 다양한 자동화 기능이 있습니다. 또한 최대 16 개 사이트에서 동시에 이미지를 웨이퍼 할 수 있습니다. 이 모델은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 리소그래피 장비로 설계되어 있으며, 고수율 마이크로 패브라이션 (microfabrication) 에 이상적입니다. 마지막으로, NSR-2205 I14E2 는 강력한 리소그래피 프로세스 제어 및 관리 기능을 제공하는 APC 및 ITOx 소프트웨어와 호환됩니다. 빠른 스캐닝 속도, 뛰어난 이미징 결과, 광범위한 자동화 기능을 갖춘 NSR 2205I 14E2 는 정밀 웨이퍼 스테퍼 (precision wafer stepper) 애플리케이션을 위한 강력하고 다양한 선택입니다.