판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12D #9389868

NIKON NSR 2205 i12D는 고정밀 고해상도 투사 리소그래피에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 다양한 렌즈, 광학 부품 (optical component), 노출 설정 (exposure settings) 을 통해 구성할 수 있으며, 다양한 어플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. NIKON NSR-2205I12D는 고정밀, 대형 12인치 (300mm) 마스크 없는 단계 및 스캔 단계를 사용합니다. 이 단계는 투영 리소그래피 프로세스에서 뛰어난 정확도와 해상도를 허용합니다. NSR-2205I 12D는 사용 된 렌즈에 따라 4 ~ 6 인치 (100 ~ 150mm) 웨이퍼를 사용할 수 있으며 이미징 시야는 최대 36mm x 36mm, 12 인치 (300mm) 웨이퍼는 최대 43mm x 43mm입니다. 이 스테퍼는 0.75nm 선폭 및 12nm 해상도로 매우 정확한 기능 크기를 제공합니다. 이 시스템에는 모든 응용 레이어의 고품질 이미징을 제공하는 고대비 (high-contrast), 다중 레이어 간섭계 (multi-layer interferometric) 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 또한 CAD (Chemically Assisted Deposition) 자산이 포함 된 아트 에어 필터링 도구 (Art Air Filtering Tool) 의 상태 덕분에 빠른 노출 시간과 낮은 입자 오염을 위해 설계되었습니다. 프로세스 반복성을 극대화하고 마이크로 결함을 최소화하기 위해 NIKON NSR-2205 I 12 D 에는 정렬 시스템 어레이가 포함되어 있습니다. 스테퍼는 통합 자동 정렬 모델을 사용하여 웨이퍼 형상과 원-원 오버레이 (circle-on-circle overlay) 장비를 신속하게 정렬하여 임계 정렬 정확도를 보장합니다. NIKON NSR-2205 I12D는 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼로, 매우 정확한 석판화를 달성 할 수 있습니다. 이 장치에는 다양한 애플리케이션 (application) 요구 사항을 충족하기 위해 필요한 모든 구성요소가 장착되어 있어 대규모와 소규모 (small-scale) 생산에 적합합니다. 뛰어난 해상도, 고정밀도, 정렬 도구의 배열을 갖춘 NIKON NSR 2205 I12 D는 웨이퍼 리소그래피에 적합한 선택입니다.