판매용 중고 NIKON NSR 2205 i12D #9243749
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NIKON NSR 2205 i12D는 4 "~ 8" 의 광범위한 웨이퍼 크기를 지원하도록 설계된 아트 웨이퍼 스테퍼 상태입니다. 소형 공랭식 디자인으로, 생산 환경에서 작동하기에 적합합니다. 장비에는 CAT, 레이저 및 광 정렬을 포함한 여러 정렬 옵션이 있습니다. 전동식 스테이지는 고정밀 스테핑 모터를 사용하며 통합 위치 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 스테퍼는 1kW 긴 아크 투영 램프와 높은 수치 조리개 i 라인 광학 렌즈를 사용합니다. 고화질 옵틱과 첨단 마이크로 스테핑 기술은 탁월한 초점 균일성과 고회절 효율성을 제공합니다. 광학 장치는 깊은 울트라 바이올렛 (ultra-violet) 에서 적외선 (infrared) 에 이르는 다양한 파장으로 작동하여 다양한 사진 해설법 프로세스에 쉽게 적응할 수 있습니다. 기계는 가장 복잡한 웨이퍼 설계를 지원하기 위해 0.3um ~ 0.1um (0.3um ~ 0.1um) 의 다양한 해상도에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 스테퍼는 또한 스마트 처킹 (smart chucking) 을 지원하여 다양한 웨이퍼 기판에 정확하고 신속한 처킹을 제공하며, 효율적인 프로세스 제어 및 항복 관리 기능을 제공합니다. NIKON NSR-2205I12D에는 다양한 안전 기능과 사용자 친화적 인 운영 옵션도 있습니다. 여기에는 에셋이 시작/중지될 때 와퍼를 부드럽게 처리할 수 있는 보상 리드 스크류 (compensatory lead screw) 도구가 포함됩니다. 환경 센서 (Environmental sensor) 모음을 사용하면 스테퍼를 다양한 온도에서 작동시킬 수 있으며, 내장 웨이퍼 정렬 (Wafer Alignment) 모델은 높은 수준의 정확성과 반복성을 보장합니다. 오버헤드 (overhead) 캐리어는 장비의 작동과 유지 관리를 용이하게 하는 반면, 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 는 사용자와 시스템 간의 직접 연결을 제공합니다. 또한 NSR-2205I 12D 는 고급 이미징 소프트웨어와 결합된 밝고 안정적인 광원 (light source) 으로 고품질 이미지를 제작할 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 신뢰할 수 있고, 비용 효율적이며, 생산에 탁월한 처리량을 제공합니다.
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